Alumina ceramic manipulator

Alumina ceramic manipulatoray tinatawag ding alumina ceramic fork at wafer handling end effector. Naka -install ito sa wafer handling robot at katumbas ng kamay ng robot. Ginagamit ito upang dalhin, transportasyon at posisyon ng mga wafer ng semiconductor.Silicon wafersay lubos na madaling kapitan ng kontaminasyon mula sa iba pang mga particle, kaya karaniwang hinahawakan sila sa isang vacuum na kapaligiran upang matiyak ang kalinisan. Ang alumina ceramic manipulators ay gumagamit ng negatibong presyon ng pagsipsip upang alisin ang mga wafer at mag -transport ng mga semiconductor wafers sa pamamagitan ng teleskopoping, pag -ikot, at pag -angat ng mga galaw. Mayroong mga butas ng hangin at mga bentilasyon ng bentilasyon sa loob ng alumina ceramic manipulator, na maaaring bumuo ng isang vacuum kapag pumping air, upang ang mga semiconductor wafers ay maaaring ma -adsorbed sa pamamagitan ng light contact nang hindi pinching o masira ang mga semiconductor wafers.

Kilalang -kilala na ang purer ang komposisyon ngalumina ceramicay, mas mataas ang lakas nito. Ang Semicorex alumina ceramic manipulators ay gawa sa high-payured alumina ceramic. Nagreresulta ito sa pambihirang lakas at katigasan ng mekanikal. Ang kanilang paglaban sa pagsusuot ay lumampas sa bakal at bakal na bakal, na nagpapahintulot sa kanila na mapanatili ang katumpakan ng ibabaw sa paglipas ng panahon sa mga kapaligiran na may mataas na friction, binabawasan ang panganib ng mga gasgas ng wafer at gawing mainam ang mga ito para sa paghawak ng mataas na pag-uulat. Ang alumina ceramic manipulator na ito ay may mataas na resistivity. Ang natitirang mga katangian ng pagkakabukod ng mga de -koryenteng ito ay maaaring epektibong maiwasan ang pagkagambala ng electrostatic, at mabawasan ang panganib ng adsorption ng butil upang mapanatili ang isang malinis na ibabaw ng wafer. Bukod dito, ang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor ay nagsasangkot ng mga kumplikadong circuit at mataas na boltahe na kapaligiran sa loob ng kagamitan. Ang high-resistance alumina ceramic manipulator ay epektibong hinaharangan ang kasalukuyang pagpapadaloy, tinitiyak ang kaligtasan ng elektrikal sa panahon ng paghawak ng semiconductor wafer. Salamat sa mataas na temperatura ng paglaban at thermal na katatagan ng alumina ceramic, ang manipulator deform ay napakaliit sa panahon ng proseso ng paggamot ng semiconductor, ay maaaring tumpak na posisyon ng mga wafer, at maiwasan ang paglihis ng katumpakan na sanhi ng pagpapapangit ng thermal. Bukod dito, ang materyal na ito ay may mahusay na katatagan ng kemikal at lubos na lumalaban sa kaagnasan ng mga acid, alkalis, tinunaw na mga metal, atbp. Hindi madaling gumanti sa iba pang mga sangkap upang palayain ang mga polling particle, at maaaring epektibong maprotektahan ang mga bahagi ng semiconductor mula sa kontaminasyon ng kemikal.