Sa panahon ng pagproseso, ang mga semiconductor wafer ay dapat na pinainit sa mga espesyal na hurno. Ang reactor ay binubuo ng mga pinahabang, cylindrical na tubo, kung saan ang mga wafer ay nakaposisyon sa mga wafer boat sa paunang natukoy, katumbas ng distansya. ang iba pang mga device na ginagamit sa pagpoproseso ng wafer ay gawa sa isang materyal tulad ng silicon carbide (SiC).
Ang mga bangka, na puno ng isang batch ng mga wafer na ipoproseso, ay nakaposisyon sa mahabang cantilevered paddles, kung saan maaari silang maipasok at maalis mula sa mga tubular furnace at reactor. Kasama sa mga paddle ang isang flattened carrier section kung saan ang isa o higit pang mga bangka ay maaaring iposisyon, at isang mahabang handle, na nakaposisyon sa isang dulo ng flattened carrier section, kung saan maaaring mahawakan ang paddle.
Ang cantilever paddle ay inirerekomenda sa paggamit ng recrystallized silicon carbide na may CVD SiC thin layer, na mataas ang purity at pinakamahusay na pagpipilian para sa mga bahagi sa pagproseso ng semiconductor.
Ang Semicorex ay maaaring magbigay ng serbisyo sa pagpapasadya ayon sa mga guhit at kapaligiran sa pagtatrabaho.
Ang Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle ay isang mahalagang bahagi na ginagamit sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, partikular sa diffusion o LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) furnace sa panahon ng mga proseso tulad ng diffusion at RTP (Rapid Thermal Processing). Ang SiC Cantilever Paddle ay magdadala ng mga semiconductor wafer nang ligtas sa loob ng tubo ng proseso sa panahon ng iba't ibang prosesong may mataas na temperatura gaya ng diffusion at RTP. Ito ay nagsisilbi sa layunin ng pagsuporta at pagdadala ng mga wafer sa loob ng tubo ng proseso ng mga hurno na ito. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex silicon carbide cantilever paddle ay isang espesyal na bahagi na ginagamit sa mga furnace para sa iba't ibang mga application ng thermal processing. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryMalaking wafer loading force silicon carbide SiC ceramic cantilever paddle ay angkop para sa isang robot na awtomatikong loading at handling system dahil ito ay may stable na performance, non-deformation sa mataas na temperatura at malaking wafer loading force. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry