Sic ceramic paddle

Ang Semicorex sic ceramic paddle ay isang advanced na bahagi na binuo para sa high-temperatura na mga aplikasyon ng semiconductor furnace tulad ng oksihenasyon at pagsasabog. Ang sagwan ay kumikilos bilang suporta ng cantilever upang hawakan at ilipat ang mga wafer sa mataas na temperatura. Ang Semicorex sic ceramic paddle ay nagbibigay ng mataas na kadalisayan, mataas na lakas na mga ceramic na sangkap sa mga proseso ng mataas na temperatura na humihiling ng pagiging maaasahan, katatagan, at pagganap na hinihingi sa pamamagitan ng proseso ng paggawa.

Ang mga paddles ay ginawa mula sa mataas na kadalisayanSilicon Carbide (sic), partikular na nabalangkas upang mapaglabanan ang matigas na thermal at kemikal na kapaligiran ng isang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Kapag ang mga wafer ay ginagamot sa pamamagitan ng oksihenasyon at pagsasabog, ang wafer ay nakalantad sa mga temperatura na higit sa 1000 degree C, pati na rin ang mga reaktibo na gas tulad ng oxygen, singaw o dopant na mga atmospheres. Sa mga temperatura na ito, ang integridad ng istruktura ay depende sa kadalisayan ng materyal.

Ang isa pang mahalagang katangian ng SIC ceramic paddles ay ang kanilang napakahusay na pagganap sa mataas na temperatura. Dahil sa natutunaw na punto ng SIC na 2700+C, ang mga paddles ay nagpapanatili ng lakas at mekanikal na katatagan kapag nakalantad sa mataas na TEM

peratures sa paglipas ng panahon. Nililimitahan ng thermal na pag -aari ang pag -war at pag -crack ng materyal sa paulit -ulit na pag -init at paglamig ng mga siklo habang nagbibigay ng mahabang buhay ng serbisyo sa mga kapaligiran ng paggawa.

Ang pagproseso ng mga semiconductors ay hinihiling ng isang ultra-malinis na kapaligiran dahil kahit na ang mga bakas na halaga ng mga impurities ay maaaring makaapekto sa ani at pag-uugali ng mga aparato. Ang materyal na SIC na ginamit sa mga paddles ay may isang chemically singaw na naideposito (CVD) sic coating na nagtataguyod ng labis na mataas na kadalisayan habang binabawasan ang kontaminasyon ng metal. Ang Sic ceramic paddle ay mananatiling malinis at matatag para sa kanilang buong habang -buhay. Tulad ng sinusuportahan ng cantilever, ang mga paddles ay kailangang magbigay ng isang ligtas na suporta para sa mga wafer carriers o bangka sa panahon ng pagpasok at pag -alis mula sa hurno. Dahil saSicAng likas na lakas at katigasan, nagtataglay sila ng mahusay na mga katangian ng pag-load na may kaunting pagpapalihis, na mahalaga para sa wastong paghawak at pagkakahanay sa wafer. Sa mga oksihenasyon at pagsasabog ng mga hurno, ang mga kinakaing unti -unting atmospheres ay maaaring pag -atake at pagpapabagal sa mga tradisyunal na materyales sa paglipas ng panahon, ngunit ang SIC ay may kakayahang mapanatili ang katatagan ng kemikal, na nagpapalawak ng magagamit na buhay ng sagwan. Nagreresulta ito sa kapansin -pansing nabawasan ang mga gastos sa pagpapanatili at kapalit, dahil ang mga paddles ay hindi kailangang mapalitan o ayusin nang halos madalas.

Bilang karagdagan sa pagganap, may kakayahang umangkop sa pagpapasadya ng mga paddles para sa mga tiyak na kagamitan at proseso. Ang mga sukat, pagpapaubaya, at pagtatapos ng ibabaw ay maaaring gawing kakayahang umangkop upang matiyak na magkasya sa pagitan ng mga disenyo ng hurno at anumang iba pang sistema ng paghawak ng wafer. Ang kakayahang makamit ang mataas na antas ng dimensional na kawastuhan na may katumpakan na machining ng ceramic ay magpapahintulot din sa mga paddles na magawa upang matugunan ang mga kumplikadong geometry. Ang buong hanay ng mga tampok na ito ay inilaan upang magbigay ng walang tahi na operasyon at madaling pagsasama sa umiiral na mga linya ng produksyon.

Sic ceramicAng mga paddles, kasama ang kanilang kumbinasyon ng mataas na kadalisayan, katatagan ng thermal, lakas ng mekanikal, at paglaban sa kemikal, ay mga mahahalagang materyales sa semiconductor oxidation at mga proseso ng pagsasabog. Sa pamamagitan ng pagbibigay ng isang matatag, malinis na platform para sa paglipat ng wafer, direktang nag -aambag sila sa pinabuting ani, pagkakapare -pareho ng proseso, at pangkalahatang kahusayan sa pagmamanupaktura.