Ang focus ring o edge ring ay idinisenyo upang mapabuti ang pagkakapareho ng etch sa paligid ng wafer edge o perimeter.
Ang mga semicorex focus ring ay pinahiran ng silicon carbide gamit ang chemical vapor deposition(CVD) na nagbibigay ng superior heat resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na chemical resistance, na binuo upang mapaglabanan ang matinding kapaligiran sa plasma etching o dry etching process. .
Ang Semicorex SIC Focus Ring ay isang sangkap na may mataas na kadalisayan na Silicon Carbide Ring na idinisenyo upang ma-optimize ang pamamahagi ng plasma at pagkakapareho ng proseso ng wafer sa paggawa ng semiconductor. Ang pagpili ng Semicorex ay nangangahulugang tinitiyak ang pare -pareho na kalidad, advanced na materyal na engineering, at maaasahang pagganap na pinagkakatiwalaan ng nangungunang semiconductor fabs sa buong mundo.*
Magbasa paMagpadala ng Inquiry