Ang focus ring o edge ring ay idinisenyo upang mapabuti ang pagkakapareho ng etch sa paligid ng wafer edge o perimeter.
Ang mga semicorex focus ring ay pinahiran ng silicon carbide gamit ang chemical vapor deposition(CVD) na nagbibigay ng superior heat resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na chemical resistance, na binuo upang mapaglabanan ang matinding kapaligiran sa plasma etching o dry etching process. .
Ang mga semicorex na matibay na focus ring para sa pagproseso ng semiconductor ay idinisenyo upang mapaglabanan ang matinding kapaligiran ng mga plasma etch chamber na ginagamit sa pagproseso ng semiconductor. Ang aming mga focus ring ay gawa sa high-purity graphite na pinahiran ng siksik, wear-resistant na silicon carbide (SiC) coating. Ang SiC coating ay may mataas na corrosion at heat resistance properties, pati na rin ang mahusay na thermal conductivity. Inilapat namin ang SiC sa manipis na mga layer papunta sa graphite gamit ang proseso ng chemical vapor deposition (CVD) upang mapabuti ang buhay ng serbisyo ng aming mga focus ring.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex Plasma processing focus ring ay espesyal na idinisenyo upang matugunan ang mataas na pangangailangan ng plasma etch processing sa industriya ng semiconductor. Ang aming advanced, high-purity na Silicon Carbide Coated Components ay binuo upang makatiis sa matinding kapaligiran at angkop para sa paggamit sa iba't ibang mga application, kabilang ang mga silicon carbide layer at epitaxy semiconductors.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex advanced, high-purity SiC Focus Rings ay binuo upang makatiis sa matinding kapaligiran sa plasma etch (o dry etch) chambers. Nakatuon kami sa mga industriya ng semiconductor tulad ng mga silicon carbide layer at epitaxy semiconductor. Ang aming mga produkto ay may magandang kalamangan sa presyo at sumasaklaw sa marami sa mga merkado sa Europa at Amerika. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry