Ang Semicorex wafer chucks na gawa sa silicon carbide coating ng MOCVD ay may superyor na mabilis na paglamig at heating resistance, wear resistance, extra long service life properties. Ito ang mahusay na materyal upang hawakan at suportahan ang mga plato para sa Si wafers para sa iba't ibang proseso sa panahon ng paggawa ng chip sa industriya ng semiconductor.
● Rigidity
● Mababang thermal expansion
● Mababang timbang