Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso.
Ang Tantalum carbide (TaC) ay isang compound na binubuo ng tantalum at carbon. Mayroon itong metallic electrical conductivity at isang napakataas na punto ng pagkatunaw, na ginagawa itong isang refractory ceramic na materyal na kilala sa lakas, tigas, at init at wear resistance. Ang natutunaw na punto ng Tantalum Carbides ay tumataas sa humigit-kumulang 3880°C depende sa kadalisayan at may isa sa pinakamataas na punto ng pagkatunaw sa mga binary compound. Ginagawa nitong isang kaakit-akit na alternatibo kapag ang mga hinihingi ng mas mataas na temperatura ay lumampas sa mga kakayahan sa pagganap na ginagamit sa mga compound semiconductors na epitaxial na proseso gaya ng MOCVD at LPE.
Data ng materyal ng Semicorex TaC Coating
|
Mga proyekto |
Mga Parameter |
|
Densidad |
14.3 (gm/cm³) |
|
Emissivity |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Katigasan (HK) |
2000 |
|
Paglaban (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Thermal Stability |
<2500℃ |
|
Pagbabago ng Dimensyon ng Graphite |
-10~-20um (reference value) |
|
Kapal ng Patong |
≥20um karaniwang halaga(35um±10um) |
|
|
|
|
Ang nasa itaas ay karaniwang mga halaga |
|
Ang Semicorex Porous Tantalum Carbide Rings ay high-performance refractory component na partikular na idinisenyo para sa Physical Vapor Transport (PVT) na proseso ng Silicon Carbide (SiC) crystal growth, na nagtatampok ng monolithic sintered structure na nag-aalok ng pambihirang thermal stability at kontroladong gas permeability.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex TaC-coated graphite wafer susceptors ay ang mga cutting-edge na bahagi na karaniwang inilalapat upang matatag na suportahan at iposisyon ang mga semiconductor wafer sa panahon ng mga advanced na semiconductor epitaxial na proseso. Gamit ang mga makabagong teknolohiya sa produksyon at mature na karanasan sa pagmamanupaktura, ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng custom-engineered TaC-coated graphite wafer susceptors na may kalidad na nangunguna sa merkado para sa aming mga pinahahalagahang customer.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex CVD TaC Coated Susceptors ay mga high-performance na graphite susceptor na may siksik na TaC coating, na idinisenyo upang makapaghatid ng mahusay na pagkakapareho ng thermal at corrosion resistance para sa hinihingi na SiC epitaxial growth na proseso. Pinagsasama ng Semicorex ang advanced na teknolohiya ng CVD coating na may mahigpit na kontrol sa kalidad upang magbigay ng pangmatagalan, mababang kontaminasyon na mga susceptor na pinagkakatiwalaan ng mga pandaigdigang tagagawa ng SiC epi.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex tantalum carbide coated guide rings ay ang mga high-performing ring component na ginagamit sa semiconductor crystal growth equipment. Partikular na idinisenyo ang mga ito upang lumikha ng angkop na gradient ng temperatura at matatag na kapaligiran ng daloy ng hangin sa panahon ng paglaki ng kristal. Sa pamamagitan ng pagpili ng Semicorex tantalum carbide coated guide rings, makikinabang ka sa walang kapantay na teknolohiya ng coating at isang napakahusay at matatag na karanasan sa produksyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex TaC Coated Graphite Crucible ay ginawa ng Tantalum Carbide coating graphite sa pamamagitan ng CVD method, na siyang pinaka-angkop na materyal na inilapat sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang Semicorex ay isang kumpanya na patuloy na dalubhasa sa CVD ceramic coating at nag-aalok ng pinakamahusay na mga solusyon sa materyal sa industriya ng semiconductor.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng mga sangkap na pinahiran ng Semicorex TAC sa paglaki ng epitaxial ay isang mahalagang makinang bahagi na matatagpuan sa air intake sa proseso ng epitaxial sa semiconductor. Ang Semicorex ay isang top-notch na kumpanya na dalubhasa sa teknolohiyang patong ng CVD TAC sa China, at mga pag-export ng mga produkto sa buong mundo.*
Magbasa paMagpadala ng Inquiry