Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso.
Ang Tantalum carbide (TaC) ay isang compound na binubuo ng tantalum at carbon. Mayroon itong metallic electrical conductivity at isang napakataas na punto ng pagkatunaw, na ginagawa itong isang refractory ceramic na materyal na kilala sa lakas, tigas, at init at wear resistance. Ang natutunaw na punto ng Tantalum Carbides ay tumataas sa humigit-kumulang 3880°C depende sa kadalisayan at may isa sa pinakamataas na punto ng pagkatunaw sa mga binary compound. Ginagawa nitong isang kaakit-akit na alternatibo kapag ang mga hinihingi ng mas mataas na temperatura ay lumampas sa mga kakayahan sa pagganap na ginagamit sa mga compound semiconductors na epitaxial na proseso gaya ng MOCVD at LPE.
Data ng materyal ng Semicorex TaC Coating
Mga proyekto |
Mga Parameter |
Densidad |
14.3 (gm/cm³) |
Emissivity |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Katigasan (HK) |
2000 |
Paglaban (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermal Stability |
<2500℃ |
Pagbabago ng Dimensyon ng Graphite |
-10~-20um (reference value) |
Kapal ng Patong |
≥20um karaniwang halaga(35um±10um) |
|
|
Ang nasa itaas ay karaniwang mga halaga |
|
Ang Semicorex Tantalum Carbide Chuck ay isang advanced na component na ginagamit sa semiconductor manufacturing equipment, na kilala sa mga pambihirang thermal at mechanical properties nito. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China*.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex TaC Coated Ring ay nakatayo bilang isang kritikal na bahagi na nakakatugon sa mga hinihinging kinakailangan na ito. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China*.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex TaC coated showerhead ay mahalaga sa proseso ng chemical vapor deposition, na nagbibigay ng walang kapantay na pagganap at mahabang buhay. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China*.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex TaC coated chuck ay kumakatawan sa isang makabuluhang pagsulong sa larangan ng paggawa ng semiconductor. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China*.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex Porous Graphite na may TaC Coating ay isang espesyal na materyal na idinisenyo upang tugunan ang mga kritikal na hamon sa paglaki ng Silicon Carbide (SiC) na mga kristal. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China*.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex Tantalum Carbide Coated Porous Graphite ay ang pinakabagong inobasyon sa Silicon Carbide (SiC) crystal growth technology. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China*.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry