Ang Semicorex RTP carrier ay silicon carbide coated gamit ang chemical vapor deposition(CVD) na proseso, na talagang matatag para sa RTA, RTP o malupit na paglilinis ng kemikal. Sa core ng proseso ng semiconductor, ang epitaxy susceptors, ay unang sumasailalim sa deposition environment, kaya ito ay may mataas na init at corrosion resistance. Ang SiC coated carrier ay mayroon ding mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.
● High purity SiC coated graphite
● Mahusay na paglaban sa init at paglaban sa kemikal
● Mataas na pagkakapareho ng thermal
● Napakahusay na resistensya sa pagsusuot