China SI epitaxy Mga Manufacturer, Supplier, Factory

In CVD equipment, epitaxial deposition cannot be performed directly on metal or simply on a base, as this would be affected by various factors. Therefore, a susceptor is required. The substrate is placed on a tray, and epitaxial deposition is then performed on it using CVD technology. This susceptor is a silicon carbide-coated graphite susceptor (also called a wafer holder).

The graphite susceptor is a core component of MOCVD equipment, serving as both a carrier and a heat source for the substrate. Its performance parameters, such as thermal stability and thermal uniformity, determine the uniformity and purity of the thin film material. Therefore, its quality directly impacts epitaxial wafer production. Furthermore, it is highly susceptible to wear and tear with increased use and changes in operating conditions, making it a high-frequency consumable.

However, pure graphite susceptors can corrode and shed, significantly reducing their service life. Furthermore, fallen graphite powder can contaminate the chip. Coating technology, which provides surface powder fixation, enhanced thermal conductivity, and balanced heat distribution, has become a mainstream solution.

Silicon carbide (SiC) boasts numerous excellent properties, including high thermodynamic stability, excellent thermal conductivity, high electron mobility, oxidation and corrosion resistance, and a thermal expansion coefficient similar to that of graphite. It is the preferred material for graphite susceptor surface coatings.

The wafer susceptor is one of the most critical components in silicon epitaxial growth equipment. It supports silicon wafers and, under high-temperature induction or resistance heating, decomposes and deposits the reactant gases on the wafer surface, forming the epitaxial layer. Because of direct contact with high temperatures and reactant gases, Semicorex wafer susceptors utilize a high-purity graphite base and are SiC-coated to extend service life and maintain high purity.

View as

Wafer Carrier

Ang Semicorex SiC-coated graphite Wafer Carrier ay idinisenyo upang magbigay ng maaasahang paghawak ng wafer sa panahon ng mga proseso ng paglago ng semiconductor epitaxial, na nag-aalok ng mataas na temperatura na resistensya at mahusay na thermal conductivity. Gamit ang advanced na teknolohiya ng materyal at isang pagtutok sa katumpakan, ang Semicorex ay naghahatid ng mahusay na pagganap at tibay, na tinitiyak ang pinakamainam na mga resulta para sa pinaka-hinihingi na mga aplikasyon ng semiconductor.*

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Graphite Waferholder

Ang Semicorex SiC Coated Graphite Waferholder ay isang high-performance component na idinisenyo para sa tumpak na paghawak ng wafer sa mga proseso ng paglago ng semiconductor epitaxy. Tinitiyak ng kadalubhasaan ng Semicorex sa mga advanced na materyales at pagmamanupaktura ang aming mga produkto ay nag-aalok ng walang kaparis na pagiging maaasahan, tibay, at pag-customize para sa pinakamainam na produksyon ng semiconductor.*

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Wafer Acceptor

Ang Semicorex wafer susceptor ay espesyal na idinisenyo para sa proseso ng semiconductor epitaxy. Ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagtiyak ng katumpakan at kahusayan ng paghawak ng wafer. Kami ay isang nangungunang negosyo sa industriya ng Chinese semiconductor, na nakatuon sa pagbibigay sa iyo ng pinakamahusay na mga produkto at serbisyo.*

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

May hawak ng Ostiya

Ang Semicorex wafer holder ay kritikal na bahagi sa paggawa ng semiconductor at gumaganap ng mahalagang papel sa pagtiyak ng tumpak at mahusay na paghawak ng mga wafer sa panahon ng proseso ng epitaxy. Kami ay matatag na nakatuon sa pagbibigay ng pinakamataas na kalidad ng mga produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na magsimula ng isang negosyo sa iyo.*

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

Ang Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck ay isang precision-engineered substrate holder na partikular na idinisenyo para sa paghawak at pagproseso ng gallium nitride sa mga silicon na epitaxial wafer. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Barrel Susceptor na may SiC Coating

Ang Semicorex Barrel Susceptor na may SiC Coating ay isang cutting-edge na solusyon na idinisenyo upang pataasin ang kahusayan at katumpakan ng mga proseso ng silicon epitaxial. Ginawa nang may masusing atensyon sa detalye, ang Barrel Susceptor na ito na may SiC Coating ay iniakma upang matugunan ang mga hinihinging pangangailangan ng paggawa ng semiconductor, na nagsisilbing pinakamainam na may hawak ng wafer at pinapadali ang tuluy-tuloy na paglipat ng init sa mga wafer. Ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

<1 2 >

Ang Semicorex ay gumagawa ng SI epitaxy sa loob ng maraming taon at isa sa mga propesyonal na SI epitaxy na tagagawa at Supplier sa China. Sa sandaling bumili ka ng aming mga advanced at matibay na produkto na nagbibigay ng maramihang pagpapakete, ginagarantiya namin ang malaking dami sa mabilis na paghahatid. Sa paglipas ng mga taon, binigyan namin ang mga customer ng customized na serbisyo. Ang mga customer ay nasiyahan sa aming mga produkto at mahusay na serbisyo. Taos-puso kaming umaasa na maging iyong maaasahang pangmatagalang kasosyo sa negosyo! Maligayang pagdating sa pagbili ng mga produkto mula sa aming pabrika.