SIC Coated Graphite Tray

Ang SIC Coated Graphite tray ay isang bahagi ng pagputol ng semiconductor na nagbibigay ng mga substrate ng SI na tumpak na kontrol sa temperatura at matatag na suporta sa panahon ng proseso ng paglago ng epitaxial ng silikon. Ang Semicorex ay palaging nagbibigay ng pangunahing prayoridad sa demand ng customer, na nagbibigay ng mga customer ng mga pangunahing sangkap na solusyon na kinakailangan para sa paggawa ng mga de-kalidad na semiconductors.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Bilang pangunahing sangkap ng epitaxial kagamitan, angSIC Coated Graphite Tray, direktang nakakaapekto sa kahusayan ng produksyon, pagkakapareho, at rate ng depekto ng paglaki ng epitaxial layer.

Sa pamamagitan ng paglilinis ng grapayt, pagproseso ng katumpakan at paggamot sa paglilinis, ang ibabaw ng graphite substrate ay maaaring makamit ang mahusay na pagiging flat at kinis, matagumpay na maiwasan ang panganib ng kontaminasyon ng butil. Sa pamamagitan ng pag-aalis ng singaw ng kemikal, ang ibabaw ng grapayt na substrate ay sumasailalim sa isang reaksyon ng kemikal na may reaktibo na gas, na bumubuo ng isang siksik, walang pore-free at pantay na makapal na silikon carbide (SIC) coating. Mula sa paghahanda ng substrate hanggang sa paggamot ng patong, ang buong proseso ng paggawa ay isinasagawa sa isang Class 100 cleanroom, na nagbibigay kasiyahan sa mga pamantayan sa kalinisan na angkop para sa mga semiconductors.

Ang SIC Coated Graphite Tray na gawa sa mataas na kadalisayan na mababang-yaman na grapayt at mga materyales sa SIC, ay may mahusay na thermal conductivity at mababang koepisyent ng thermal expansion. Hindi lamang ito nagbibigay-daan sa SIC-coated grapayt tray na ilipat ang init nang mabilis at pantay-pantay upang mapabuti ang kalidad ng paglago ng epitaxial layer, ngunit epektibong binabawasan din ang panganib ng pagpapadanak o pag-crack dahil sa thermal stress. Bilang karagdagan, ang uniporme at siksik na patong ng SIC ay lumalaban sa mataas na temperatura, oksihenasyon at kaagnasan, tinitiyak ang matatag na operasyon sa loob ng mahabang panahon sa ilalim ng mataas na temperatura at kinakaing unti-unting mga kondisyon ng gas.

Ang SIC Coated Graphite tray ay may mas mataas na pagiging tugma sa kagamitan ng metal-organikong kemikal na singaw (MOCVD). Ito ay maingat na laki at idinisenyo upang umangkop sa iba't ibang mga parameter ng proseso at mga kinakailangan sa kagamitan. Laging iginiit ni Semicorex na mag -alok ng mga propesyonal na naangkop na serbisyo sa aming mga pinapahalagahan na mga customer upang tumpak na matugunan ang kanilang mga kinakailangan para sa iba't ibang laki, mga kapal ng patong at pagkamagaspang sa ibabaw ng SIC coated grapayt tray.