China Ulo ng shower Mga Manufacturer, Supplier, Factory

Ang SiC (silicon carbide) showerhead ay isang espesyal na bahagi na ginagamit sa iba't ibang prosesong pang-industriya, partikular sa industriya ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ito ay idinisenyo upang ipamahagi at ihatid ang mga proseso ng gas nang pantay at tumpak sa panahon ng chemical vapor deposition (CVD) at mga proseso ng paglago ng epitaxial.

Ang showerhead ay hugis ng isang disk o plato na may maraming pantay na distributed na mga butas o nozzle sa ibabaw nito. Ang mga butas na ito ay nagsisilbing mga saksakan para sa mga gas ng proseso, na nagpapahintulot sa kanila na mai-inject sa silid ng proseso o silid ng reaksyon. Ang laki, hugis, at pamamahagi ng mga butas ay maaaring mag-iba depende sa partikular na aplikasyon at mga kinakailangan sa proseso.

Ang isa sa mga pangunahing bentahe ng paggamit ng isang SiC showerhead ay ang mahusay na thermal conductivity nito. Ang property na ito ay nagbibigay-daan sa mahusay na paglipat ng init at pare-parehong pamamahagi ng temperatura sa ibabaw ng showerhead, na pumipigil sa mga hot spot at tinitiyak ang pare-parehong kondisyon ng proseso. Ang pinahusay na thermal conductivity ay nagbibigay-daan din para sa mabilis na paglamig ng showerhead pagkatapos ng proseso, pagliit ng downtime at pagtaas ng pangkalahatang produktibidad.

Ang mga SiC showerhead ay lubos na matibay at lumalaban sa pagkasira, kahit na sa ilalim ng matagal na pagkakalantad sa mga nakakaagnas na gas at mataas na temperatura. Ang mahabang buhay na ito ay isinasalin sa pinahabang mga agwat ng pagpapanatili at pinababang oras ng paghinto ng kagamitan, na nagreresulta sa pagtitipid sa gastos at pinahusay na pagiging maaasahan ng proseso.

Bilang karagdagan sa katatagan nito, ang mga SiC showerhead ay nag-aalok ng mahusay na mga kakayahan sa pamamahagi ng gas. Tinitiyak ng tumpak na engineered na mga pattern at configuration ng butas ang pare-parehong daloy ng gas at distribusyon sa ibabaw ng substrate, na nagpo-promote ng pare-parehong pagdeposito ng pelikula at pinahusay na performance ng device. Nakakatulong din ang pare-parehong pamamahagi ng gas na mabawasan ang mga pagkakaiba-iba sa kapal ng pelikula, komposisyon, at iba pang kritikal na parameter, na nag-aambag sa pinahusay na kontrol at ani ng proseso.

Nag-aalok ang Semicorex ng mababang resistivity sintered silicon carbide semiconductor shower head. Mayroon kaming kakayahan sa custom engineer at magbigay ng mga advanced na ceramic na materyales na gumagamit ng iba't ibang natatanging kakayahan.