Bilang propesyonal na paggawa, nais naming bigyan ka ng Mga Bahagi ng Semiconductor. Ang Semicorex ay ang iyong kasosyo para sa pagpapabuti sa pagproseso ng semiconductor. Ang aming silicon carbide coatings ay siksik, mataas na temperatura at chemical resistant, na kadalasang ginagamit sa buong cycle ng semiconductor manufacturing, kabilang ang semiconductor wafer & wafer processing at semiconductor fabrication.
Ang high-purity na SiC coated na mga bahagi ay mahalaga sa mga proseso sa semiconductor. Ang aming alok ay mula sa mga graphite consumable para sa mga crystal growing hot zone (mga heaters, crucible susceptor, insulation), hanggang sa high-precision na mga bahagi ng graphite para sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng wafer, tulad ng mga silicon carbide coated graphite susceptor para sa Epitaxy o MOCVD.
Mga kalamangan para sa mga proseso ng semiconductor
Ang mga phase ng thin film deposition gaya ng epitaxy o MOCVD, o pagpoproseso ng wafer handling gaya ng etching o ion implant ay dapat magtiis sa mataas na temperatura at malupit na paglilinis ng kemikal. Nagbibigay ang Semicorex ng high-purity silicon carbide (SiC) coated graphite construction na nagbibigay ng superior heat resistance at matibay na chemical resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer.
Chamber Lid →
Ang mga Chamber Lid na ginagamit sa paglaki ng kristal at pagproseso ng wafer ay dapat magtiis sa mataas na temperatura at malupit na paglilinis ng kemikal.
End Effector →
Ang end effector ay ang kamay ng robot na nagpapagalaw ng mga semiconductor na wafer sa pagitan ng mga posisyon sa kagamitan sa pagpoproseso ng wafer at mga carrier.
Mga Inlet Ring →
SiC coated gas inlet ring ng MOCVD equipment Ang paglago ng compound ay may mataas na init at paglaban sa kaagnasan, na may mahusay na katatagan sa matinding kapaligiran.
Focus Ring →
Ang mga supply ng Semicorex na Silicon Carbide Coated focus ring ay talagang matatag para sa RTA, RTP o malupit na paglilinis ng kemikal.
Wafer Chuck →
Ang Semicorex ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks ay mataas na kadalisayan na pinahiran ng SiC gamit sa proseso ng paghawak ng wafer.
Ang mga semicorex na single-crystal silicon electrodes ay nagsisilbing parehong mga electrodes at etching gas pathway sa panahon ng proseso ng wafer etching. Ang Semicorex single-crystal silicon electrodes ay ang kailangang-kailangan na mga bahagi ng silicon na espesyal na ininhinyero para sa high-end na semiconductor etch manufacturing, na makakatulong na mapabuti ang katumpakan at pagkakapareho ng pag-ukit.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex Cantilever Paddles ay precision-engineered component na idinisenyo para sa high-temperature at high-purity semiconductor processing applications. Nagbibigay ang Semicorex ng de-kalidad na Cantilever Paddles upang matugunan ang mga hinihinging kinakailangan ng advanced na wafer handling at thermal management system.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng mga semicorex silicon etching ring ay precision ring-shaped etching component na ginawa mula sa high-purity single crystal silicon. Ang mga ito ay ang mahahalagang bahagi ng silikon na ginagamit sa kagamitan sa pag-ukit ng plasma, na espesyal na ginawa para sa paglikha ng pinakamainam na kondisyon ng pag-ukit ng plasma. Piliin ang Semicorex, piliin ang de-kalidad na silicon etching rings.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng mga semicorex furnace tube para sa LPCVD ay ang precision-manufactured tubular component na may pare-pareho at siksik na CVD SiC coating. Espesyal na idinisenyo para sa advanced na low pressure chemical vapor deposition process, ang Semicorex furnace tubes para sa LPCVD ay nakakapagbigay ng angkop na high-temperatura, low-pressure reaction environment upang mapabuti ang kalidad at ani ng wafer thin-film deposition.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex CVD SiC-coated furnace tubes ay ang mga high-end na tubular na bahagi na partikular na ginawa para sa high-temperature na pagpoproseso ng semiconductor, tulad ng oxidation, diffusion, at annealing ng semiconductor wafers. Gamit ang mga advanced na teknolohiya sa pagpoproseso at mature na karanasan sa pagmamanupaktura, ang Semicorex ay nakatuon sa pagbibigay ng precision-machined CVD SiC-coated furnace tubes na may kalidad na nangunguna sa merkado para sa aming mga pinahahalagahang customer.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng mga tubo ng proseso ng Semicorex sic ay ginawa ng High Purity Sic Ceramic na may CVD sic coating, angkop ito para sa pahalang na hurno sa semiconductor. Isinasaalang-alang ang kalidad ng produkto at serbisyo pagkatapos ng benta, ang Semicorex ang nais na gumawa ng de-kalidad na negosyo sa aming mga customer sa buong mundo.*
Magbasa paMagpadala ng Inquiry