SIC Process Tubes

ng katawan ay isang ultra-mababang materyal na kadalisayan (<300 ppm), na nagbibigay ng mahusay na kadalisayan ng materyal at katatagan para sa reaktibo na mga atmospheres. Bilang karagdagan, ang tubo ay pinahiran ng isang CVD silikon carbide layer (<5 ppm) upang mapabuti ang paglaban ng kaagnasan at proteksyon sa ibabaw.

Ang mga tubo ng proseso ng SIC ay ginawa ngSintered silikon karbidaAng mga tubo ng proseso ng Semicorex sic ay ang mga mahahalagang sangkap na istruktura sa oksihenasyon, pagsasabog, RTA/RTP sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Sa pangkalahatan ito ay isang malaking tubo ng diameter bilang isang puwang ng hurno ng reaktor, ang lahat ng mga proseso ng kemikal ay mangyayari sa loob. Kaya ang lakas, ang thermal shock resistance pareho ay napaka pangunahing mga puntos para sa produkto.

Ang mga process na tubo na ito ay idinisenyo para magamit sa mga atmospheres na may reaktibo na gas (oxygen), kalasag gas (nitrogen), at kaunting halaga ng hydrogen chloride gas, at nag -aalok ng natitirang paglaban ng kemikal, thermal stability, at materyal na kadalisayan sa 1250 ° C. Ang mga tubo ng proseso ng semicorex sic ay pinagsama ang state-of-the-art 3D-print na pagmamanupaktura na may patong na pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD) upang magbigay ng higit na mahusay na pagganap at habang buhay sa ilalim ng pinaka matinding thermal at kemikal na mga kondisyon.

Ang mga tubo ng proseso ng semicorex sic ay ginawa sa pamamagitan ng isang 3D print integrated na proseso ng paghubog sa halip na isang maginoo na pindutin na nabuo o tipunin na tubo. Ang proseso ng pagmamanupaktura na ito ay nagbibigay -daan para sa isang tuluy -tuloy, pare -pareho na istraktura ng ceramic na walang mga kasukasuan at mahina na lugar, na lumilikha ng isang mataas na antas ng pagiging kumplikado at dimensional na katapatan, na maaaring maibsan ang mga konsentrasyon ng stress habang pinapahusay ang lakas ng mekanikal. Bukod dito, ang istraktura ng monolitiko ay nagbibigay ng isang natural na gas na masikip na selyo, pagbabawas ng kontaminasyon at pagtagas sa panahon ng mga proseso ng mataas na temperatura.

AngSicng katawan ay isang ultra-mababang materyal na kadalisayan (<300 ppm), na nagbibigay ng mahusay na kadalisayan ng materyal at katatagan para sa reaktibo na mga atmospheres. Bilang karagdagan, ang tubo ay pinahiran ng isang CVD silikon carbide layer (<5 ppm) upang mapabuti ang paglaban ng kaagnasan at proteksyon sa ibabaw.

Nagbibigay ang Semicorex ng na -customize na serbisyo, maaari kaming makagawa ayon sa mga guhit ng mga customer, upang matugunan ang mga kinakailangang kinakailangan sa pagtutukoy. Kaya ang mga tubo ng proseso ng semicorex sic ay maaaring maging kahalili na angkop hindi lamang para sa pahalang na hurno, kundi pati na rin ang mga vertical na hurno.