Ang SiC coating ay isang manipis na layer papunta sa susceptor sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) na proseso. Ang materyal na Silicon carbide ay nagbibigay ng ilang mga bentahe kaysa sa silikon, kabilang ang 10x na pagkasira ng lakas ng electric field, 3x ang band gap, na nagbibigay ng materyal na may mataas na temperatura at paglaban sa kemikal, mahusay na paglaban sa pagsusuot pati na rin ang thermal conductivity.
Ang Semicorex ay nagbibigay ng customized na serbisyo, tulungan kang mag-innovate sa mga bahagi na mas tumatagal, bawasan ang cycle ng mga oras, at mapabuti ang mga ani.
Ang SiC coating ay nagtataglay ng ilang natatanging pakinabang
Mataas na Paglaban sa Temperatura: Ang CVD SiC coated susceptor ay maaaring makatiis sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C nang hindi dumaranas ng makabuluhang thermal degradation.
Paglaban sa Kemikal: Ang silicon carbide coating ay nagbibigay ng mahusay na pagtutol sa malawak na hanay ng mga kemikal, kabilang ang mga acid, alkalis, at mga organikong solvent.
Wear Resistance: Ang SiC coating ay nagbibigay ng materyal na may mahusay na wear resistance, na ginagawa itong angkop para sa mga application na may mataas na pagkasira.
Thermal Conductivity: Ang CVD SiC coating ay nagbibigay ng materyal na may mataas na thermal conductivity, ginagawa itong angkop para sa paggamit sa mga application na may mataas na temperatura na nangangailangan ng mahusay na paglipat ng init.
Mataas na Lakas at Katigasan: Ang silicon carbide coated susceptor ay nagbibigay ng materyal na may mataas na lakas at higpit, na ginagawa itong angkop para sa mga application na nangangailangan ng mataas na mekanikal na lakas.
Ang SiC coating ay ginagamit sa iba't ibang aplikasyon
LED Manufacturing: Ginagamit ang CVD SiC coated susceptor sa pagmamanupaktura na naproseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED, dahil sa mataas nitong thermal conductivity at chemical resistance.
Komunikasyon sa mobile: Ang CVD SiC coated susceptor ay isang mahalagang bahagi ng HEMT upang makumpleto ang proseso ng epitaxial ng GaN-on-SiC.
Pagproseso ng Semiconductor: Ginagamit ang CVD SiC coated susceptor sa industriya ng semiconductor para sa iba't ibang aplikasyon, kabilang ang pagpoproseso ng wafer at paglaki ng epitaxial.
Mga bahagi ng grapayt na pinahiran ng SiC
Ginawa ng Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ang coating ay inilapat sa pamamagitan ng isang CVD method sa mga partikular na grado ng high density graphite, kaya maaari itong gumana sa high temperature furnace na may higit sa 3000 °C sa isang inert atmosphere, 2200°C sa vacuum .
Ang mga espesyal na katangian at mababang masa ng materyal ay nagbibigay-daan sa mabilis na mga rate ng pag-init, pare-parehong pamamahagi ng temperatura at natitirang katumpakan sa kontrol.
Data ng materyal ng Semicorex SiC Coating
Mga tipikal na katangian |
Mga yunit |
Mga halaga |
Istruktura |
|
FCC β phase |
Oryentasyon |
Fraction (%) |
111 ang gusto |
Bulk density |
g/cm³ |
3.21 |
Katigasan |
Vickers tigas |
2500 |
Kapasidad ng init |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermal expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300℃) |
430 |
Sukat ng Butil |
μm |
2~10 |
Temperatura ng Sublimation |
℃ |
2700 |
Lakas ng Felexural |
MPa (RT 4-point) |
415 |
Thermal conductivity |
(W/mK) |
300 |
Konklusyon Ang CVD SiC coated susceptor ay isang composite material na pinagsasama ang mga katangian ng isang susceptor at silicon carbide. Ang materyal na ito ay nagtataglay ng mga natatanging katangian, kabilang ang mataas na temperatura at paglaban sa kemikal, mahusay na paglaban sa pagsusuot, mataas na thermal conductivity, at mataas na lakas at higpit. Ginagawa nitong isang kaakit-akit na materyal ang mga katangiang ito para sa iba't ibang mga application na may mataas na temperatura, kabilang ang pagproseso ng semiconductor, pagproseso ng kemikal, paggamot sa init, paggawa ng solar cell, at pagmamanupaktura ng LED.
Ang Semicorex 8 Inch EPI Top Ring ay isang SIC Coated Graphite Component na idinisenyo para magamit bilang ang itaas na takip ng singsing sa mga sistema ng paglago ng epitaxial. Piliin ang Semicorex para sa kadalisayan ng materyal na nangunguna sa industriya, tumpak na machining, at pare-pareho ang kalidad ng patong na matiyak ang matatag na pagganap at pinalawak na bahagi ng buhay sa mga proseso ng semiconductor na may mataas na temperatura.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex 8 Inch EPI Bottom Ring ay isang matatag na sic coated grapayt na sangkap na mahalaga para sa pagproseso ng epitaxial wafer. Piliin ang Semicorex para sa hindi magkatugma na kadalisayan ng materyal, katumpakan ng patong, at maaasahang pagganap sa bawat siklo ng produksyon.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex 8 Inch EPI Susceptor ay isang mataas na pagganap na SIC-coated grapayt wafer carrier na idinisenyo para magamit sa mga epitaxial deposition kagamitan. Ang pagpili ng Semicorex ay nagsisiguro ng higit na mahusay na kadalisayan ng materyal, paggawa ng katumpakan, at pare -pareho ang pagiging maaasahan ng produkto na naaayon upang matugunan ang hinihingi na pamantayan ng industriya ng semiconductor.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex sic carrier para sa ICP ay isang may hawak na wafer na may mataas na pagganap na gawa sa SIC-coated grapayt, na sadyang idinisenyo para magamit sa inductively coupled plasma (ICP) etching and deposition system. Piliin ang Semicorex para sa aming kalidad na kalidad ng anisotropic na kalidad ng grapayt, katumpakan na maliit-batch na pagmamanupaktura, at hindi kompromiso na pangako sa kadalisayan, pagkakapare-pareho, at pagganap ng proseso.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex Graphite Carrier para sa Epitaxial Reactors ay isang SIC coated grapayt na sangkap na may katumpakan na micro-hole para sa daloy ng gas, na-optimize para sa mataas na pagganap na pag-aalis ng epitaxial. Piliin ang Semicorex para sa mahusay na teknolohiya ng patong, kakayahang umangkop sa pagpapasadya, at kalidad na pinagkakatiwalaan sa industriya.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng semicorex sic coated plate ay isang sangkap na may engineered-engineered na ginawa mula sa grapayt na may isang mataas na kadalisayan na silikon na karbida na patong, na idinisenyo para sa paghingi ng mga aplikasyon ng epitaxial. Piliin ang Semicorex para sa teknolohiyang nangunguna sa industriya ng CVD, mahigpit na kontrol ng kalidad, at napatunayan na pagiging maaasahan sa mga kapaligiran sa pagmamanupaktura ng semiconductor.*
Magbasa paMagpadala ng Inquiry