Ang SiC coating ay isang manipis na layer papunta sa susceptor sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) na proseso. Ang materyal na Silicon carbide ay nagbibigay ng ilang mga bentahe kaysa sa silikon, kabilang ang 10x na pagkasira ng lakas ng electric field, 3x ang band gap, na nagbibigay ng materyal na may mataas na temperatura at paglaban sa kemikal, mahusay na paglaban sa pagsusuot pati na rin ang thermal conductivity.
Ang Semicorex ay nagbibigay ng customized na serbisyo, tulungan kang mag-innovate sa mga bahagi na mas tumatagal, bawasan ang cycle ng mga oras, at mapabuti ang mga ani.
Ang SiC coating ay nagtataglay ng ilang natatanging pakinabang
Mataas na Paglaban sa Temperatura: Ang CVD SiC coated susceptor ay maaaring makatiis sa mataas na temperatura hanggang sa 1600°C nang hindi dumaranas ng makabuluhang thermal degradation.
Paglaban sa Kemikal: Ang silicon carbide coating ay nagbibigay ng mahusay na pagtutol sa malawak na hanay ng mga kemikal, kabilang ang mga acid, alkalis, at mga organikong solvent.
Wear Resistance: Ang SiC coating ay nagbibigay ng materyal na may mahusay na wear resistance, na ginagawa itong angkop para sa mga application na may mataas na pagkasira.
Thermal Conductivity: Ang CVD SiC coating ay nagbibigay ng materyal na may mataas na thermal conductivity, ginagawa itong angkop para sa paggamit sa mga application na may mataas na temperatura na nangangailangan ng mahusay na paglipat ng init.
Mataas na Lakas at Katigasan: Ang silicon carbide coated susceptor ay nagbibigay ng materyal na may mataas na lakas at higpit, na ginagawa itong angkop para sa mga application na nangangailangan ng mataas na mekanikal na lakas.
Ang SiC coating ay ginagamit sa iba't ibang aplikasyon
LED Manufacturing: Ginagamit ang CVD SiC coated susceptor sa pagmamanupaktura na naproseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED, dahil sa mataas nitong thermal conductivity at chemical resistance.
Komunikasyon sa mobile: Ang CVD SiC coated susceptor ay isang mahalagang bahagi ng HEMT upang makumpleto ang proseso ng epitaxial ng GaN-on-SiC.
Pagproseso ng Semiconductor: Ginagamit ang CVD SiC coated susceptor sa industriya ng semiconductor para sa iba't ibang aplikasyon, kabilang ang pagpoproseso ng wafer at paglaki ng epitaxial.
Mga bahagi ng grapayt na pinahiran ng SiC
Ginawa ng Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ang coating ay inilapat sa pamamagitan ng isang CVD method sa mga partikular na grado ng high density graphite, kaya maaari itong gumana sa high temperature furnace na may higit sa 3000 °C sa isang inert atmosphere, 2200°C sa vacuum .
Ang mga espesyal na katangian at mababang masa ng materyal ay nagbibigay-daan sa mabilis na mga rate ng pag-init, pare-parehong pamamahagi ng temperatura at natitirang katumpakan sa kontrol.
Data ng materyal ng Semicorex SiC Coating
Mga tipikal na katangian |
Mga yunit |
Mga halaga |
Istruktura |
|
FCC β phase |
Oryentasyon |
Fraction (%) |
111 ang gusto |
Bulk density |
g/cm³ |
3.21 |
Katigasan |
Vickers tigas |
2500 |
Kapasidad ng init |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermal expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300℃) |
430 |
Sukat ng Butil |
μm |
2~10 |
Temperatura ng Sublimation |
℃ |
2700 |
Lakas ng Felexural |
MPa (RT 4-point) |
415 |
Thermal conductivity |
(W/mK) |
300 |
Konklusyon Ang CVD SiC coated susceptor ay isang composite material na pinagsasama ang mga katangian ng isang susceptor at silicon carbide. Ang materyal na ito ay nagtataglay ng mga natatanging katangian, kabilang ang mataas na temperatura at paglaban sa kemikal, mahusay na paglaban sa pagsusuot, mataas na thermal conductivity, at mataas na lakas at higpit. Ginagawa nitong isang kaakit-akit na materyal ang mga katangiang ito para sa iba't ibang mga application na may mataas na temperatura, kabilang ang pagproseso ng semiconductor, pagproseso ng kemikal, paggamot sa init, paggawa ng solar cell, at pagmamanupaktura ng LED.
Ang Semicorex LPE Part ay isang SiC-coated component na partikular na idinisenyo para sa proseso ng SiC epitaxy, na nag-aalok ng pambihirang thermal stability at chemical resistance upang matiyak ang mahusay na operasyon sa mataas na temperatura at malupit na kapaligiran. Sa pamamagitan ng pagpili ng mga produkto ng Semicorex, nakikinabang ka sa mataas na katumpakan, pangmatagalang mga custom na solusyon na nag-o-optimize sa proseso ng paglago ng SiC epitaxy at nagpapahusay ng kahusayan sa produksyon.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex SiC Coating Flat Susceptor ay isang high-performance substrate holder na idinisenyo para sa tumpak na paglaki ng epitaxial sa paggawa ng semiconductor. Piliin ang Semicorex para sa maaasahan, matibay, at mataas na kalidad na mga susceptor na nagpapahusay sa kahusayan at katumpakan ng iyong mga proseso ng CVD.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex SiC Coating Pancake Susceptor ay isang high-performance na bahagi na idinisenyo para gamitin sa mga MOCVD system, na tinitiyak ang pinakamainam na pamamahagi ng init at pinahusay na tibay sa panahon ng paglaki ng epitaxial layer. Piliin ang Semicorex para sa precision-engineered nitong mga produkto na naghahatid ng higit na mataas na kalidad, pagiging maaasahan, at pinahabang buhay ng serbisyo, na iniakma upang matugunan ang mga natatanging pangangailangan ng paggawa ng semiconductor.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex RTP Ring ay isang SiC-coated graphite ring na idinisenyo para sa mga application na may mataas na pagganap sa Rapid Thermal Processing (RTP) system. Piliin ang Semicorex para sa aming advanced na materyal na teknolohiya, na tinitiyak ang higit na tibay, katumpakan, at pagiging maaasahan sa paggawa ng semiconductor.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex Epitaxial Susceptor na may SiC coating ay idinisenyo upang suportahan at hawakan ang mga SiC wafer sa panahon ng proseso ng paglago ng epitaxial, na tinitiyak ang katumpakan at pagkakapareho sa paggawa ng semiconductor. Piliin ang Semicorex para sa mataas na kalidad, matibay, at nako-customize na mga produkto nito na nakakatugon sa mahigpit na hinihingi ng mga advanced na aplikasyon ng semiconductor.*
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Semicorex SiC Coated Waferholder ay isang high-performance na bahagi na idinisenyo para sa tumpak na paglalagay at paghawak ng mga SiC wafer sa panahon ng mga proseso ng epitaxy. Piliin ang Semicorex para sa pangako nito sa paghahatid ng mga advanced, maaasahang materyales na nagpapahusay sa kahusayan at kalidad ng paggawa ng semiconductor.*
Magbasa paMagpadala ng Inquiry