Sic epitaxial module

Ang Semicorex sic epitaxial module, na ginawa mula sa premium grade, ang coated grapayt ng SIC, ay isang bahagi ng epitaxial na kagamitan na binuo upang mapaglabanan ang mga pinakamahirap na elemento ng mga proseso ng epitaxy ng silikon (SIC). Ang module na ito, na inilaan para sa mataas na temperatura sa mga aplikasyon ng pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD), ay isang mahalagang sangkap sa pagpapakita ng katatagan at suporta para sa mga wafer sa panahon ng pag -unlad ng epitaxial ng mataas na kalidad na SIC. Ang semicorex sic module ay isang epektibong base material para sa isang maaasahan at paulit -ulit na paggawa ng epitaxial material na naaayon sa kalidad ng mga pagtutukoy ng SIC.

Ang semicorex sic module ay isang grapayt na substrate na sakop ng isang siksik at pantay na layer ng silikon na karbida na kalupkop at lumalaban sa kontaminasyon ng butil at kaagnasan kahit na sa pinaka malubhang proseso ng mga chemistries. Ang SIC coating ay nagbabawal sa kontaminasyon at pagguho ng pinagbabatayan na grapayt at nagbibigay ng malaking suporta sa mekanikal at proteksyon hanggang sa 1600 ° C. Pinagsasama ng SIC module ang lakas at machinability ng grapayt na may pangkalahatang pagsusuot, kaagnasan at kemikal na lumalaban na mga katangian ng silikon na karbida, ginagawa itong pinakamahusay na angkop ng module sa mga tuntunin ng tibay sa isang malupit na epitaxial na kapaligiran.

Ang module ay idinisenyo upang magbigay ng isang pantay na profile ng thermal habang binabawasan ang dimensional na pagbabago sa buong proseso ng thermal cycling. Ang thermal na pagkakapareho at katatagan ay mahalaga sa pagpapanatili ng wafer flatness at epitaxy pagkakapareho. Kung ang wafer ay nagpapanatili ng isang matatag na posisyon na may mataas na thermal conductivity, kung gayon ang mga thermal na kondisyon sa buong wafer sa panahon ng pagproseso ay magiging pantay, na positibong nakakaapekto sa ani, kalidad ng kristal, at downtime na may kaugnayan sa pagkabigo ng bahagi o kontaminasyon.

Ang SIC epitaxial module ay katugma sa maraming mga epitaxial reaktor kabilang ang hot-wall at cold-wall at may pagpipilian na ipasadya upang hubugin at sukat upang mapaunlakan ang mga tiyak na layout ng reaktor at mga pangangailangan ng customer. Ang module ng epitaxial ng SIC ay angkop para sa, ngunit hindi limitado sa, 4-pulgada, 6-pulgada, at umuusbong na 8-pulgada na mga aplikasyon ng epitaxy. Dahil sa mataas na kadalisayan at na -optimize na geometry ng SIC epitaxial module, ang pisikal na panghihimasok ay nabawasan sa epekto nito sa dinamikong daloy ng gas at mga thermal gradients na sumusuporta sa mas kinokontrol na paglago ng epitaxial layer.

Ang mga module ng epitaxial module ng Semicorex ay kumakatawan sa pinakamataas na kalidad na kinokontrol na piraso sa eccentric assembly. Bilang karagdagan sa mataas na kalidad na mga protocol ng control, ginagamit ng Semicorex ang pinakabagong mga pamamaraan ng patong upang mag-aplay ng uniporme, siksik, at mababang-outgassing mga pelikulang SIC. Ang Semicorex ay may mahabang kasaysayan ng mataas na pagganap ng ceramic coatings at graphite machining na nagpapakilala sa mga benepisyo sa proseso na nagbibigay ng pinakamahusay na posibleng buhay ng produkto, pagkakapare -pareho, at proseso ng katatagan mula sa batch hanggang sa batch.

Sa mabilis na umuusbong na larangan ng mga aparato ng kapangyarihan ng SIC, kung saan ang kalidad ng materyal ay direktang nakakaapekto sa pagganap ng aparato, ang epitaxial module ay hindi lamang maubos-ito ay isang kritikal na enabler. Ang SIC Coated Graphite epitaxial module mula sa Semicorex ay nag-aalok ng isang matatag, maaasahang solusyon para sa mga customer na naghahangad na itulak ang mga limitasyon ng kahusayan, ani, at pagiging epektibo sa SIC epitaxy.