SiC Epi-Wafer Susceptor

Ang Semicorex ay nagbibigay ng SiC Epi-Wafer Susceptor na pinahiran ng MOCVD na ginagamit upang suportahan ang mga wafer. Ang kanilang high-purity silicon carbide (SiC) coated graphite construction ay nagbibigay ng superior heat resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na chemical resistance. Ang pinong SiC crystal coating ay nagbibigay ng malinis, makinis na ibabaw, kritikal para sa paghawak dahil ang mga malinis na wafer ay nakikipag-ugnayan sa susceptor sa maraming punto sa kanilang buong lugar.
Ang aming SiC Epi-Wafer Susceptor ay idinisenyo upang makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas, na tinitiyak ang pagiging pantay ng thermal profile. Nakakatulong ito upang maiwasan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities, na tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial sa wafer chip.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming SiC Epi-Wafer Susceptor.

Mga Parameter ng SiC Epi-Wafer Susceptor

Mga Tampok ng SiC Epi-Wafer Susceptor

Mataas na kadalisayan na SiC coated graphite
Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal
Pinong SiC crystal na pinahiran para sa makinis na ibabaw
Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal
Ang materyal ay idinisenyo upang hindi mangyari ang mga bitak at delamination.