SiC Epi-Wafer Receptor

Ang Semicorex ay isang malakihang tagagawa at supplier ng Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor sa China. Nakatuon kami sa mga industriya ng semiconductor tulad ng mga silicon carbide layer at epitaxy semiconductor. Ang aming SiC Epi-Wafer Susceptor ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa marami sa mga European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Semicorex ay nagbibigay ng SiC Epi-Wafer Susceptor na pinahiran ng MOCVD na ginagamit upang suportahan ang mga wafer. Ang kanilang high-purity silicon carbide (SiC) coated graphite construction ay nagbibigay ng superior heat resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na paglaban sa kemikal. Ang pinong SiC crystal coating ay nagbibigay ng malinis, makinis na ibabaw, kritikal para sa paghawak dahil ang mga malinis na wafer ay nakikipag-ugnayan sa susceptor sa maraming punto sa kanilang buong lugar.
Ang aming SiC Epi-Wafer Susceptor ay idinisenyo upang makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas, na tinitiyak ang pagiging pantay ng thermal profile. Nakakatulong ito upang maiwasan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga dumi, na tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial sa wafer chip.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming SiC Epi-Wafer Susceptor.

Mga Parameter ng SiC Epi-Wafer Susceptor

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng SiC Epi-Wafer Susceptor

Mataas na kadalisayan na SiC coated graphite
Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal
Pinong SiC crystal na pinahiran para sa makinis na ibabaw
Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal
Ang materyal ay idinisenyo upang hindi mangyari ang mga bitak at delamination.