Mataas na kalahating buwan

Ang Semicorex Upper Half Moon ay isang semi-circular wafer carrier na meticulously engineered para sa mga kagamitan sa pagproseso ng epitaxial. Bilang isang kritikal na sangkap ng susceptor sa proseso ng paglago ng epitaxial, ang bahaging ito ay idinisenyo upang suportahan at patatagin ang mga wafer ng silikon sa panahon ng high-temperatura na pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD). Ang panindang mula sa high-kadalisayan grapayt at protektado ng isang pantay na silikon carbide (sic) coating, ang itaas na kalahating buwan ay pinagsasama ang mekanikal na katatagan, mahusay na thermal conductivity, at pambihirang paglaban ng kaagnasan upang matugunan ang mga hinihingi ng high-precision epitaxy.

Ang produktong ito ay nakukuha ang pangalan nito mula sa natatanging kalahating buwan na geometry, na kung saan ay itinayo para sa mga tiyak na rotational platform sa single-wafer o multi-wafer epitaxial reaktor. Ang natatanging hugis nito ay hindi lamang nagpapadali ng pantay na daloy ng gas at pamamahagi ng thermal ngunit pinapayagan din ang madaling pagsasama sa umiiral na mga pagpupulong ng pag -init at pag -ikot. Tinitiyak ng semi-pabilog na disenyo ang pinakamainam na pagpoposisyon ng wafer, pinaliit ang thermal stress, at gumaganap ng isang pangunahing papel sa pagkamit ng pantay na epitaxial film kapal sa buong ibabaw ng wafer.

Kasama sa itaas na kalahating buwan na produkto ang isang substrate ng ultra-fine grapayt dahil sa pinagsamang mga benepisyo ng pagganap ng isang matatag na ultra-fine na istraktura sa sobrang mataas na temperatura na kasama ng paglaban sa kabiguan sa paulit-ulit na pagtakbo. Upang mapalawak ang paggamit, ang isang mataas na kadalisayan ng siksik na patong ng SIC ay inilapat ng teknolohiyang pag -aalis ng singaw ng kemikal, na naghihiwalay sa graphite substrate mula sa HCl, CL₂, Silane, at iba pang mga kinakaing unti -unting proseso ng gas. Hindi alintana, ang SIC coating ay nagtataguyod ng isang mas matibay at mas mapapalawak na buhay sa parehong itaas na produkto ng kalahating buwan at ang mga bahagi sa kabuuan nito habang binabawasan ang kontaminasyon ng kapaligiran ng wafer, na sa huli ay nakikinabang sa proseso ng ani at kalidad ng pelikula.

Ang ibabaw ng pagtatapos ng layer ng SIC ay tinukoy at flat o makinis upang maisulong ang patuloy na paglipat ng init sa isang substrate at patuloy na pagbuo ng pelikula. Bukod dito, ang SIC coating ay nagpapabuti sa paglaban ng sangkap sa henerasyon ng mga particulate na kung saan ay isang pangunahing kadahilanan ng mga depekto na sensitibong aplikasyon ng semiconductor. Ang mga parameter ng pagganap kabilang ang napakababang outgassing at napakababang pagpapapangit sa itaas ng 1200 ° C ay nagbibigay ng mga epektibong sangkap para sa napakatagal na mga siklo ng operasyon, pagbawas ng mga gastos sa downtime at mga gastos sa pagpapanatili.

Ang Semicorex Upper Half Moon ay pangalawa sa wala tungkol sa pagpapahintulot, pagkakapareho ng patong, at pagpili ng materyal. Pinapanatili namin ang mahigpit na kontrol ng kalidad sa bawat hakbang, mula sa graphite machining, hanggang sa pag -aalis ng mga coatings ng SIC, at pangwakas na inspeksyon, tinitiyak ang bawat yunit na nakakatugon sa mahigpit na pamantayan na kinakailangan ng kagamitan sa grade semiconductor. Bukod dito, ang aming karanasan sa pagpapasadya ng mga geometry, kapal, at paggamot sa ibabaw ay kinikilala na mailalapat sa halos lahat ng mga anyo ng mga platform ng epitaxy.

Ang itaas na kalahating buwan ay kritikal na mahalaga para sa katatagan ng wafer, uniporme ng thermal, at control control para sa silikon o tambalang semiconductor epitaxy. Alinsunod dito, ang Semicorex ay gumagamit ng walang kaparis na kadalubhasaan, teknolohiya ng materyal, at pagkakapare-pareho ng pagmamanupaktura upang makamit ang mga inaasahan ng customer para sa maaasahang, mataas na pagganap na mga sangkap ng susceptor.