Mataas na kadalisayan sic cantilever paddle

Ang Semicorex High Purity Sic Cantilever Paddle ay ginawa ngSilicon carbide ceramic, sa pangkalahatan ang sisic. Ito ay isang sic na ginawa ng proseso ng paglusot ng silikon, isang proseso na nagbibigaySilicon carbide ceramicmas mahusay na lakas at pagganap. Ang mataas na kadalisayan na cantilever paddle ay pinangalanan ng hugis nito, ito ay mahaba ang guhit, na may tagahanga ng gilid. Ang hugis ay idinisenyo para sa pagsuporta sa mga pahalang na bangka ng wafer sa mataas na temperatura ng hurno.

Pangunahing ginagamit ito sa oksihenasyon, pagsasabog, RTA/RTP sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Kaya ang kapaligiran ay oxygen (reaktibo gas), nitrogen (kalasag gas), at isang maliit na halaga ng hydrogen chloride. Ang temperatura ay humigit -kumulang na 1250 ° C. Kaya ito ay isang mataas na temperatura na kapaligiran ng oksihenasyon. Ito ay nangangailangan ng bahagi sa kapaligiran na ito na lumalaban sa oksihenasyon at maaaring tumayo sa ilalim ng mataas na temperatura.

Ang Semicorex High Purity Sic Cantilever Paddle ay ginawa ng 3D na nakalimbag, kaya ito ay isang-piraso na paghuhulma, at maaari itong matugunan ang mataas na mga kinakailangan para sa laki at pagproseso. Ang cantilever paddle ay gagawin ng 2 bahagi, ang katawan at ang patong nito, ang semicorex ay maaaring magbigay ng nilalaman ng karumihan <300pm para sa katawan, at <5ppm para sa CVD sic coating. Kaya ang ibabaw ay ultra mataas na kadalisayan upang maiwasan ang pagpapakilala ng mga impurities at kontaminado. Gayundin ang materyal na may mataas na thermal shock resistance, upang manatili ang hugis sa mahabang haba ng buhay.

Ang Semicorex ay nagsasagawa ng napakahalagang proseso ng ruta ng pagmamanupaktura. Tungkol sa katawan ng SIC, inihahanda namin muna ang hilaw na materyal at ihalo ang SIC powder, pagkatapos ay gawin ang paghuhulma at machining sa pangwakas na hugis, pagkatapos nito ay bibigyan natin ng bahagi ang bahagi upang mapagbuti ang density at maraming mga katangian ng kemikal. Ang pangunahing katawan ay nabuo at gagawin namin ang inspeksyon ng ceramic mismo at upang matugunan ang kinakailangan sa sukat. Pagkatapos nito gagawin natin ang mahalagang paglilinis. Ilagay ang kwalipikadong cantilever paddle sa mga ultrasonic na kagamitan para sa paglilinis upang alisin ang alikabok, langis sa ibabaw. Pagkatapos ng paglilinis, ilagay ang mataas na kadalisayan na Sic cantilever paddle sa isang pagpapatayo ng oven at lutuin ito sa 80-120 ° C sa loob ng 4-6 na oras hanggang matuyo ang tubig.

Pagkatapos ay maaari nating gawin ang CVD coating sa katawan.Ang temperatura ng patong ay 1200-1500 ℃, at napili ang isang angkop na curve ng pag-init. Sa mataas na temperatura, ang pinagmulan ng silikon at mapagkukunan ng carbon ay nag-reaksyon ng chemically upang makabuo ng mga particle ng nano-scale sic. Ang mga partikulo ng SIC ay patuloy na idineposito sa ibabaw ng

Bahagi upang makabuo ng isang siksik na manipis na layer ng sic. Ang kapal ng patong sa pangkalahatan ay 100 ± 20μm. Matapos matapos, ang pangwakas na inspeksyon ng mga produkto ay isinaayos, para sa hitsura ng mga produkto, kadalisayan at sukat, atbp.