Tantalum Carbide Coated Guide Rings

Ang mga guide ring ay karaniwang naka-install sa itaas ng graphite crucible sa loob ng thermal field system. Gumagana ang mga ito kasabay ng crucible, heater, at thermal insulation cylinder, at iba pang bahagi ng semiconductor upang gabayan at kontrolin ang pamamahagi ng init at proseso ng mga gas.

Ang Adbentaheng Tantalum Carbide Coating

Kilala sa mahusay na pagganap ngTaC coatingsa ikatlong henerasyong semiconductor na single-crystal growth application, ang tantalum carbide coating ay nag-aalok ng mga sumusunod na pakinabang:

1. Pambihirang thermal stability

Nagtatampok ang Tantalum carbide ng napakahusay na thermal resistance, na may napakataas na melting point na 3880 ℃. Itinatampok ang pambihirang thermal stability na ito, ang Semicorex tantalum carbide coated guide rings ay maaaring gamitin nang matatag sa mga kapaligirang may mataas na temperatura sa ibaba 2500 ℃. Bilang karagdagan, ang kumbinasyon ng dalawang materyales na ito ay nagpapaliit sa mga panganib ng pag-crack at pagbabalat ng coating na dulot ng mga pagbabago sa temperatura, na makabuluhang nagbibigay-daan sa integridad ng istruktura ng bahagi sa panahon ng paulit-ulit na proseso ng pag-init at paglamig.

2.Remarkable kaagnasan pagtutol

Ang Tantalum carbide ay may kahanga-hangang corrosion resistance at oxidation resistance, at chemically inert sa karamihan ng mga reaktibong gas tulad ng ammonia, hydrogen, at silicon. Dahil sa katatagan ng kemikal na ito, ang Semicorex tantalum carbide coated guide rings ay epektibong pumipigil sa mga reaktibong gas na masira ang matrix at masira ang kanilang integridad ng istruktura, habang iniiwasan din ang panganib ng kontaminasyon mula sa mga reactant at impurities na pumapasok sa crystal structure.

Ang Pagganap ng Semicorex Tantalum Carbide Coated Guide Rings

Semicorextantalum carbide coated guide ringsgumamit ng high-purity graphite bilang matrix at ideposito ang TaC coating sa ibabaw sa pamamagitan ng CVD technology. Ang kumbinasyon ng dalawang materyales na ito ay nagbibigay-daan sa Semicorex tantalum carbide coated guide rings na naghahatid ng mga sumusunod na pakinabang:

1.Gas flow guidance at flow field optimization

Sa panahon ng paglaki ng kristal, ang paggamit ng mga singsing ng gabay ay nakakatulong na ma-optimize ang pamamahagi ng daloy sa loob ng thermal field at nagdidirekta ng mga reaktibong gas patungo sa isang nakokontrol na direksyon ng daloy at pare-parehong pamamahagi. Salamat sa kanilang espesyal na disenyo ng istruktura, ang Semicorex tantalum carbide coated guide rings ay maaaring gabayan ang gas na dumaloy at maipamahagi nang pantay, na epektibong umiiwas sa sobrang mataas o mababang lokal na konsentrasyon ng gas.

2. Regulasyon ng Temperatura at Pag-optimize ng Thermal Field

Ang Semicorex tantalum carbide coated guide rings ay nagpapakita ng superyor na thermal conductivity, na gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagtulong sa pag-regulate ng distribusyon ng temperatura at magbigay ng isang matatag na field ng temperatura para sa paglaki ng kristal. Halimbawa, ang Semicorex tantalum carbide-coated guide rings ay maaaring makatulong na mapanatili ang gradient ng temperatura sa paglaki ng PVT ng mga silicon carbide crystals, na tinitiyak na ang mga materyales ay nabubulok, nagdadala, at nag-kristal sa ilalim ng angkop na mga kondisyon.