Porous alumina chuck

Ang Semicorex porous alumina chuck ay layunin na binuo para sa pinaka-pinong mga wafer. Ang kanilang porous na disenyo ay nagbibigay ng katiyakan ng pare -pareho na pamamahagi ng vacuum sa buong ibabaw ng chuck, na nagsisiguro na nabawasan ang naisalokal na stress, at mga pantulong sa pagpigil sa gilid ng chipping at pagbasag. Ang mekanikal na pag -clamping (solid o kung hindi man) ay hindi epektibo tulad ng microporous network na humahawak kahit na maselan na mga wafer nang walang labis na pagpilit ng mekanikal na stress habang ang pag -aayos ng wafer ay ligtas, dahil pinipigilan ng microporous na istraktura ang pagsusuot at nagbibigay ng isang banayad na hawakan. Ang pangangailangan para sa pantay na adsorption sa buong buong ibabaw ng chuck ay lalo na kritikal para sa mga wafer na mas malaki at mas payat na maaaring tiisin ang mas kaunting stress sa panahon ng awtomatikong paghawak at habang nagsasagawa ng mataas na mga hakbang sa pagproseso ng katumpakan.

Na-optimize para sa 35-40% porosity, ang chuck ay bubuo ng isang network ng mga inter-koneksyon na mga pores na nagsisilbing lumikas sa hangin habang nagbibigay ng sapat na lakas ng mekanikal upang hawakan ang wafer sa lugar laban sa mga puwersa ng proseso. Nangangahulugan ito na ang lakas na may hawak na vacuum ay nananatiling matatag habang inililipat ang mga wafer, kahit na sa mabilis na sunud -sunod, habang nagsasagawa ng isang kumplikadong pagkakasunud -sunod ng proseso. Ang adsorption sa loob ng isang microporous network ay nagbibigay ng higit na katatagan kaysa sa pamamagitan lamang ng paglikha ng mga pagkakaiba -iba sa presyon sa loob ng sistema ng vacuum.

Ang itim na alumina (al₂o₃), mismo ang pangwakas na materyal sapagkat mahirap, masusuot, at walang kemikal na walang kabuluhan. Hindi nito mapapabagsak ang anumang kapansin -pansin na ibabaw at hindi maapektuhan sa pamamagitan ng paulit -ulit na mga siklo ng wafer (paglalagay/ vacuum adsorption/ paglamig). Ang itimaluminaay dimensionally matatag, samakatuwid ay hindi magbabago sa kabila ng mga pagbabago sa temperatura na natural na nagaganap sa panahon ng proseso (pagpainit at paglamig) o sa kapaligiran.

Ang paglaban sa kemikal ay isa pang pangunahing bentahe ng itim na alumina. Ang chuck ay maaaring gumana sa agresibong paglilinis, plasma, at etching na mga kapaligiran nang hindi ikompromiso ang integridad ng istruktura nito. Pinipigilan ng pagkawalang -kilos ang kontaminasyon ng ibabaw ng wafer, tinitiyak ang mataas na proseso ng kadalisayan at pagsunod sa mga pamantayan sa paglilinis.

Nag -aalok din ang microporous na istraktura ng isang sumusuporta sa ibabaw na nagpapaginhawa sa konsentrasyon ng stress sa manipis at malutong na mga wafer. Kaugnay ng tumpak na flat ng ibabaw at makinis na pagtatapos ng ibabaw, ang mga porous na alumina chuck ay mabawasan ang paglitaw ng mga micro-cracks at mga gasgas na maaaring makompromiso ang integridad ng wafer sa kamay.

Alumina ceramicay may napakahusay na katigasan, mataas na lakas ng mekanikal, mababang thermal coefficient ng pagpapalawak, at mahusay na thermal stabil na ginagawa itong isang praktikal na materyal para sa isang application na katumpakan na semiconductor. Gayundin, ang pagkawalang-kilos ng kemikal nito ay nangangahulugang maaari itong makatiis ng mga acid, alkalis, at plasma, habang ang mga katangian ng paglaban sa paglaban ay nagsisiguro sa tibay, ang mga pakinabang na ito ay gumagawa ng alumina na materyal na pinili para sa mga microporous vacuum chuck at nagbibigay ng parehong pagiging maaasahan at mahuhulaan ng pagganap.

Sa konklusyon, ang porous alumina chuck ay idinisenyo upang magbigay ng uniporme at nakaligtas na paghawak ng wafer. Nag -aalok ang microporous black alumina na istraktura kahit na vacuum adsorption (pagkakapareho) habang binabawasan ang mekanikal na stress at pagbawas ng pinsala sa wafer. Bilang isang chuck, ang malaki at pinakamainam na porosity kasama ang natitirang thermal, mechanical, at kemikal na mga katangian, ay tumutulong sa pag -optimize ng kaligtasan, halaga, at pagiging maaasahan ng operasyon sa malupit na mga kondisyon ng katha. Ang mahusay na kumbinasyon ng matatag, uniporme, at ligtas na paghawak na ang mga porous na alumina chuck ay maaaring mag -alok ng mga tagagawa ay bihirang at natatangi.