Alumina End Effector

Ang pagpili ng materyal para sa Semicorex Alumina End Effector ay hinihimok ng high-purity alumina ceramic's unique suitability para sa malupit na kapaligiran na nakatagpo sa semiconductor fabrication: 

Pambihirang Kalinisan para sa Pagkontrol sa Kontaminasyon: Ang Alumina End Effector, na nagtatampok ng high-purity alumina ceramics bilang substrate, ay nailalarawan sa kanilang napakababang antas ng mga impurities, na tinitiyak na hindi ito magpasok ng mga contaminant na maaaring makompromiso ang mga electrical properties o performance ng mga sensitibong semiconductor device.

Katatagan ng Mataas na Temperatura para sa Kakayahan sa Proseso:Ang Alumina End Effector ay nagpapakita ng mahusay na thermal stability, pinapanatili ang integridad ng istruktura nito at katumpakan ng dimensional kahit na sa matataas na temperatura na nakatagpo sa mga proseso tulad ng thermal oxidation, diffusion, at chemical vapor deposition.

Chemical Inertness para sa Malupit na Kapaligiran:Ang likas na paglaban sa kemikal ng Alumina End Effector ay ginagawa itong hindi tinatablan ng malawak na hanay ng mga acid, base, at solvent na karaniwang ginagamit sa pagproseso ng semiconductor. Pinipigilan ng inertness na ito ang kaagnasan o pagkasira ng end effector, tinitiyak ang pangmatagalang pagganap nito at pinapaliit ang panganib ng kontaminasyon ng particulate.

Matatag na Mechanical Property para sa Pinahabang Buhay ng Serbisyo:Ang alumina ceramics ay kilala sa kanilang tigas, wear resistance, at kakayahang makatiis ng paulit-ulit na paghawak at paglilinis nang walang degradasyon. Ang katatagan na ito ay isinasalin sa pinahabang buhay ng serbisyo para sa Alumina End Effector, na binabawasan ang mga gastos sa pagpapalit at downtime.

Ang katumpakan, kadalisayan, at tibay ng Alumina End Effector ay ginawa itong isang mahalagang bahagi sa isang hanay ng mga kritikal na proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor:

Photolithography:Ang tumpak na pagkakahanay at pagkakalagay ng wafer ay pinakamahalaga sa photolithography, kung saan kahit na ang mga bahagyang paglihis ay maaaring humantong sa mga error sa misalignment at pagkabigo ng device. Ang Alumina End Effector ay nagbibigay ng kinakailangang katumpakan at katatagan para sa kritikal na hakbang na ito sa proseso.

Chemical Mechanical Planarization (CMP):Ang kakayahang makatiis sa mga kemikal na agresibong slurries at mekanikal na puwersa na kasangkot sa CMP ay ginagawang perpekto ang Alumina End Effector para sa paghawak ng mga wafer sa panahon ng kritikal na prosesong ito, na nagpaplano sa ibabaw ng wafer para sa kasunod na pagpapatong.

Inspeksyon at Metrology ng Wafer:Ang hindi nakakahawa at hindi nakakapinsalang katangian ng Alumina End Effector ay ginagawang perpekto para sa paghawak ng mga wafer sa panahon ng mga proseso ng inspeksyon at metrology, na tinitiyak ang mga tumpak na sukat at pinapaliit ang panganib na magkaroon ng mga depekto.