Sa pag-unlad ng semiconductor at optical na teknolohiya,mga manipis na salaminbilang bagong uri ng produktong salamin, ay unti-unting nagiging pandagdag sa mga wafer ng silikon, na nagpapakita ng malaking potensyal sa larangan ng mataas na teknolohiya. Ano ang mga glass wafer? Ang mga glass wafer ay ang mahusay na gumaganap na pabilog na manipis na hiwa, na karaniwang gawa sa quartz glass, alkali-free na baso, o glass-silicon composites. Sa mahusay na pisikal at kemikal na mga katangian, gumaganap sila ng hindi maaaring palitan na mga tungkulin sa mga cutting-edge na larangan ng pagmamanupaktura, tulad ng semiconductor manufacturing, optika, MEMS, consumer electronics, biomedicine, at pananaliksik sa laboratoryo.
Ang Mga Pangunahing Materyales Para sa Mga Glass Wafer
1. Far-ultraviolet quartz glass
Malayong-ultravioletkuwartsAng salamin ay ginawa sa pamamagitan ng proseso ng chemical vapor deposition, kung saan ang gaseous silicon tetrachloride ay sumasailalim sa gas-phase reaction sa isang oxyhydrogen flame upang makabuo ng amorphous na silicon dioxide, na pagkatapos ay idineposito sa isang quartz substrate para sa unti-unting paglaki at pagbuo. Ang materyal na ito ay naglalaman ng malaking halaga ng mga pangkat ng hydroxyl (950-1400 ppm), na may maliit na kabuuang halaga ng mga metal na dumi na mas mababa sa 0.2 ppm. Dahil sa mahuhusay na katangian nito tulad ng mga anti-radiation na katangian, optical uniformity, at mataas na ultraviolet transmittance (lalo na sa malayong-ultraviolet na rehiyon), malawak na inilalapat ang far-ultraviolet quartz glass sa mga aplikasyon sa far-ultraviolet optics field.
Gayunpaman, ang malakihang aplikasyon ng mala-ultraviolet na quartz glass ay limitado sa ilang lawak ng mga salik tulad ng mga stripe defect na madaling mabuo sa panahon ng proseso ng paghahanda, ang kahirapan sa paghubog ng malaki at kumplikadong hugis ng mga produkto, at ang medyo mataas na gastos sa pagmamanupaktura.
2.Ultraviolet optical quartz glass:
Ang ultraviolet optical quartz glass sa pamamagitan ng proseso ng flame fusion ay ginawa sa pamamagitan ng pagtunaw ng natural na kristal na may apoy ng oxyhydrogen, na sinusundan ng pag-deposition sa ibabaw ng mga naka-fused na target na silica glass. Ang ultraviolet optical quartz glass na may hydroxyl content na 150-400 ppm ay nag-aalok ng mga pambihirang pakinabang, tulad ng mataas na ultraviolet transmittance, malakas na kemikal na katatagan, mahusay na thermal stability, at mataas na mekanikal na lakas. Nakikinabang mula sa mature na proseso ng pagmamanupaktura nito at mataas na cost-effectiveness, ang ultraviolet optical quartz glass ay malawakang ginagamit sa mga industriya ng electronics at semiconductor.
Gayunpaman, ang ultraviolet optical quartz glass ay may mahinang optical uniformity at maaaring naglalaman ng mga microscopic na depekto tulad ng striae at micro-bubbles, na maaaring makaapekto sa kalidad ng optical imaging at katatagan ng laser transmission.
3.Infrared optical quartz glass:
Ang infrared optical quartz glass ay ginawa sa pamamagitan ng pagtunaw ng crystal powder gamit ang vacuum electrofusion na proseso. Ang materyal na ito ay may mababang hydroxyl content (<5ppm), na nagreresulta sa superior infrared transmittance. Salamat sa superyor nitong infrared transmittance, well chemical properties, at mataas na mechanical strength at mature fabrication technology, ang infrared optical quartz glass ay malawakang ginagamit sa mga infrared optics application.
Gayunpaman, ang infrared optical quartz glass ay naglalaman ng matataas na metal na dumi at naghahatid ng medyo mababang limitasyon ng pinsala sa laser, na ginagawa itong hindi angkop para sa mga high-energy-density na laser application at mga sitwasyong nangangailangan ng napakataas na malayong ultraviolet light transmittance.