Porous Alumina Vacuum Chuck

Ang vacuum chuck ay konektado sa vacuum equipment sa pamamagitan ng connecting tube. Kapag nadikit ang vacuum chuck sa workpiece, gaya ng wafer/thin film material, magsisimulang gumana ang vacuum equipment, na lumilikha ng negatibong pressure sa loob ng vacuum chuck. Sa ilalim ng presyon ng atmospera, ang workpiece ay mahigpit na nakadikit sa vacuum chuck, na nagpapahintulot sa pagproseso. Matapos makumpleto ang pagpoproseso, ang kagamitan sa vacuum ay hihinto sa paggana at dahan-dahang pinupuno ang vacuum chuck ng gas, na awtomatikong naghihiwalay sa workpiece mula sa chuck. Kinukumpleto nito ang pag-clamping, pagproseso, at paghawak ng workpiece.

Ang pangunahing layunin ng semiconductor photolithography ay "mag-print" ng bilyun-bilyong mga pattern ng transistor circuit sa isang wafer na may katumpakan sa antas ng nanometer. Ang kakanyahan ng "photolithography" ay ang paggamit ng ilaw na pinagmumulan upang mag-irradiate ng mataas na photosensitive photoresist, na nagiging sanhi ng isang kemikal na reaksyon na nag-ukit sa circuit. Gayunpaman, kapag ang pinagmumulan ng liwanag ay nag-iilaw sa ostiya, hindi maiiwasang kumikinang din ito sa electrostatic chuck, na nagsisilbing wafer carrier. Ang nagreresultang nasasalamin na pangalawang liwanag ay maaaring makagambala sa proseso ng photolithography, na nagdudulot ng pagkakalantad sa mga hindi sinasadyang lugar at nakakapinsala sa circuitry. Samakatuwid, ang isang itim na ibabaw para sa vacuum chuck ay nagpapaliit ng pagmuni-muni, na tinitiyak ang mga kinakailangan sa katumpakan ng sistema ng photolithography. Batay sa kakayahang ito, ang itim na alumina ay maaaring malawakang magamit hindi lamang sa mga electrostatic chuck kundi pati na rin sa mga sitwasyong "light-suppressing". Ang pagdating ng panahon ng AI ay nagbigay-daan sa makabuluhang pag-unlad sa mga aplikasyon ng optical na komunikasyon, at ang mga itim na alumina substrate ay madalas na nakikita sa packaging ng mga optoelectronic na aparato at mga elemento ng light-emitting.

Itim na alumina na ceramicay pangunahing ginawa ng Al2O3, na may mga transition na metal oxide bilang mga colorant at mga pantulong sa sintering na idinagdag, na sintered sa isang partikular na temperatura. Ang colorant ay isang mahalagang bahagi ng ganitong uri ng ceramic, na tinutukoy ang huling kulay nito. Kapag pumipili ng mga colorant para sa vacuum chuck, mahalagang tiyakin ang antas ng kulay, lakas ng makina, porosity, at laki ng butas ng vacuum chuck.

Sa kasalukuyan, ang mga karaniwang ginagamit na transition metal oxides bilang mga colorant sa loob at labas ng bansa ay kinabibilangan ng Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3, at MnO2, kung saan ang Fe2O3, CoO, NiO, at MnO2 ang pinaka-laganap. Dahil ang alumina ay hindi gaanong pabagu-bago sa mataas na temperatura, habang ang mga transition metal oxide ay ang kabaligtaran, ang kanilang pagkasumpungin ay tumataas sa temperatura. Ang mga oxide na ito ay bumubuo ng mga spinel-type na compound sa panahon ng mataas na temperatura na sintering, na nagpapababa ng kanilang pagkasumpungin. Samakatuwid, upang sugpuin ang volatilization ng transition metal oxides, dapat piliin ang naaangkop na mga kondisyon ng proseso upang payagan ang mga ito na pagsamahin sa mga spinel-type na compound sa mas mababang temperatura.

Nag-aalok ang Semicorex ng customsporous ceramic vacuum chuck. Kung mayroon kang anumang mga katanungan o kailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa amin.

Makipag-ugnayan sa telepono # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com