Patong ng TaC

Ang TaC ceramics ay may melting point na kasing taas ng 3880°C, mataas ang tigas (Mohs hardness 9-10), malaking thermal conductivity (22W·m^-1·K⁻¹), malaking flexural strength (340-400MPa), at maliit na coefficient ng thermal expansion (6.6×10^-6K-1), at nagpapakita ng mahusay na thermochemical stability at mahusay na pisikal na katangian, kaya ang TaC coatings ay malawakang ginagamit sa aerospace thermal protection, at ang graphite at C/C composites ay may magandang chemical compatibility at mechanical compatibility. ), at nagpapakita ng mahusay na thermochemical stability at mahusay na pisikal na katangian, at ang graphite at C/C composites ay may mahusay na chemical compatibility at mechanical compatibility, kaya ang TaC coatings ay malawakang ginagamit sa aerospace thermal protection, single crystal growth, energy at electronics, at mga medikal na kagamitan, atbp. Ang TaC-coated graphite ay may mas mahusay na chemical resistance kaysa sa bare graphite o SiC-coated graphite, at maaaring magamit nang matatag sa mataas na temperatura na 2600°. 2600 ° mataas na temperatura katatagan, at maraming mga elemento ng metal ay hindi gumanti, ay ang ikatlong henerasyon ng semiconductor solong kristal paglago at wafer ukit mga sitwasyon sa pinakamahusay na pagganap ng patong, ay maaaring makabuluhang mapabuti ang proseso ng temperatura at karumihan control, ang paghahanda ng mataas -kalidad na silicon carbide wafer at kaugnay na epitaxial wafer. Ito ay partikular na angkop para sa MOCVD na kagamitan upang palaguin ang GaN o AlN na mga solong kristal at PVT na kagamitan upang palaguin ang mga SiC na solong kristal, at ang kalidad ng mga lumaki na solong kristal ay makabuluhang napabuti.

Ayon sa mga resulta ng pananaliksik,Ang TaC coating ay maaaring kumilos bilang proteksyon at isolation layer upang palawigin ang buhay ng bahagi ng graphite, pagbutihin ang pagkakapareho ng temperatura ng radial, mapanatili ang SiC sublimation stoichiometry, sugpuin ang paglipat ng impurity, at bawasan ang pagkonsumo ng enerhiya. Sa huli ang isang TaC-coated graphite crucible set ay inaasahang magpapahusay sa kontrol ng proseso ng SiC PVT at kalidad ng produkto.