TaC coating na may CVD method

Ang Tantalum carbide coating ay isang mahalagang high-strength, corrosion-resistant at chemically stable na high-temperature structural material na may melting point na hanggang 4273 °C, isa sa ilang mga compound na may pinakamataas na temperature resistance. Ito ay may mahusay na mataas na temperatura na mekanikal na mga katangian, paglaban sa mataas na bilis ng airflow scouring, ablation resistance, at mahusay na kemikal at mekanikal na pagkakatugma sa graphite at carbon/carbon composites. Samakatuwid, sa proseso ng epitaxial ng GaN LEDs at SiC power device tulad ng MOCVD, ang TaC coating ay may mahusay na acid at alkali resistance sa H2, HCl, NH3, na maaaring ganap na maprotektahan ang materyal ng graphite substrate at linisin ang kapaligiran ng paglago.

Ang TaC coating ay nananatiling stable sa mga temperaturang higit sa 2000 °C, habang ang SiC coating ay nagsisimulang mabulok sa 1200-1400 °C, na lubos ding magpapahusay sa integridad ng graphite substrate. Ang mga Tantalum carbide coatings ay kasalukuyang inihahanda sa mga graphite substrates pangunahin sa pamamagitan ng CVD, at ang kapasidad ng produksyon ng mga TaC coatings ay higit pang mapapahusay upang matugunan ang pangangailangan para sa SiC power device at GaNLEDs epitaxial device.

Ang sistema ng reaksyong kemikal na ginagamit upang magdeposito ng mga tantalum carbide coatings sa mga materyales ng carbon sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) ay TaCl5, C3H6, H2 at Ar, kung saan ang Ar ay ginagamit bilang isang dilution at nagdadala ng gas.

Ang mga tantalum carbide coatings ay may mahalagang papel sa proseso ng epitaxial ng GaN LEDs at SiC power device gamit ang MOCVD. Pinoprotektahan ng mga advanced na materyales ang mahahalagang bahagi, tinitiyak ang kanilang mahabang buhay at pagganap sa malupit na mga kondisyon na nauugnay sa paggawa ng mataas na temperatura ng semiconductor.

Habang patuloy na tumataas ang demand para sa mga SiC power device at GaN LEDs, nakatakdang lumawak ang kapasidad ng produksyon ng mga tantalum carbide coatings. Ang mga tagagawa ay nakahanda upang matugunan ang lumalaking pangangailangan ng mga industriyang ito, na nagpapadali sa ebolusyon ng teknolohiyang may mataas na temperatura.

Sa konklusyon,tantalum carbide coatingskumakatawan sa isang hindi kapani-paniwalang teknolohikal na hakbang sa pagtiyak ng tibay at pagiging maaasahan ng mga materyales sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura. Habang patuloy nilang binabago ang sektor ng semiconductor at power electronics, binibigyang-diin ng mga coatings na ito ang kanilang katayuan bilang isang kritikal na elemento ng mga modernong high-tech na pagsulong.