Bakit pumili ng SiC-coated graphite susceptors?

Graphite susceptoray isa sa mga mahahalagang bahagi sa MOCVD equipment, ay ang carrier at ang heater ng wafer substrate. Ang mga katangian ng thermal stability at thermal uniformity ay gumaganap ng isang mapagpasyang papel sa kalidad ng wafer epitaxial growth, na direktang tumutukoy sa pagkakapareho at kadalisayan ng mga materyales sa layer, sa isang resulta ang kalidad nito ay direktang nakakaapekto sa paghahanda ng epitaxy. Samantala, sa pagtaas ng bilang ng mga gamit at pagbabago sa mga kondisyon sa pagtatrabaho, napakadaling mawala, at nabibilang sa mga consumable. Ang mahusay na thermal conductivity at stability ng Graphite ay ginagawa itong isang magandang kalamangan bilangisang base component para sa MOCVD equipment. Gayunpaman, kung purong grapayt lamang ang gagamitin, haharapin nito ang ilang mga problema. Magkakaroon ng corrosive gas at metal organic residue sa proseso ng produksyon, at ang graphite base ay makakasira at mag-drop off ang powder, na lubos na binabawasan ang buhay ng serbisyo nggraphite susceptor, at ang nahulog na graphite powder ay magdudulot din ng polusyon sa chip, kaya sa proseso ng paghahanda ng base din Ang mga problemang ito ay kailangang malutas sa panahon ng paghahanda ng base. Ang teknolohiya ng coating ay maaaring magbigay ng surface powder fixation, mapahusay ang thermal conductivity, at equalize ang thermal distribution, na nagiging pangunahing teknolohiya upang malutas ang problemang ito. Ang pangunahing teknolohiya ay upang malutas ang problemang ito. Ayon sa kapaligiran ng aplikasyon at mga kinakailangan ngmga susceptor ng grapayt, ang ibabaw na patong ay dapat magkaroon ng mga sumusunod na katangian.

Mataas na densidad at buong pambalot: ang graphite base sa kabuuan ay nasa isang mataas na temperatura, kinakaing unti-unti na kapaligiran sa pagtatrabaho, ang ibabaw ay dapat na ganap na nakabalot, habang ang patong ay dapat magkaroon ng magandang densidad upang maglaro ng isang mahusay na proteksiyon na papel.

Magandang surface flatness: Dahil ang graphite base na ginagamit para sa solong paglaki ng kristal ay nangangailangan ng napakataas na surface flatness, ang orihinal na flatness ng base ay dapat mapanatili pagkatapos maihanda ang coating, ibig sabihin, ang coating surface ay dapat na pare-pareho.

Magandang lakas ng pagbubuklod: Ang pagbabawas ng pagkakaiba ng thermal expansion coefficient sa pagitan ng graphite base at coating material ay maaaring epektibong mapabuti ang lakas ng bonding sa pagitan ng mga ito, at ang coating ay hindi madaling ma-crack pagkatapos ng mataas at mababang temperatura ng thermal cycle.

Mataas na thermal conductivity: Ang mataas na kalidad na paglaki ng chip ay nangangailangan ng mabilis at pare-parehong init mula sa graphite base, kaya ang coating material ay dapat magkaroon ng mataas na thermal conductivity.

Mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperatura ng oksihenasyon at paglaban sa kaagnasan: Ang patong ay dapat na gumana nang matatag sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran sa pagtatrabaho.