Ano ang Low Temperature Plasma Etching?

Ang Plasma ay ang ikaapat na estado ng bagay, at ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa parehong pang-industriya na mga aplikasyon at natural na mga phenomena. Halimbawa, ang plasma ay naroroon sa kidlat at saganang nabuo sa ibabaw ng araw, kung saan ang temperatura ng core ay umabot sa isang kamangha-manghang 13,500°C. Ang mataas na temperatura na plasma na ito ay hindi angkop para sa karamihan ng mga proseso ng produksyon sa industriya.

Sa kabilang banda, ang mababang temperatura na plasma ay isang artipisyal na nilikhang anyo ng plasma na gumagamit ng enerhiya, sa halip na init, upang mapabilis ang mga reaksiyong kemikal. Ang temperatura nito ay karaniwang mula sa temperatura ng silid hanggang sa ilang daang degrees Celsius, na ginagawa itong lubos na epektibo para sa iba't ibang mga aplikasyon.

Mga Hakbang sa Pagbuo ng Artipisyal na Plasma:

1. Bawasan ang Presyon sa Kamara: Magsimula sa pamamagitan ng paggamit ng vacuum pump upang babaan ang presyon sa cavity. Ang pagkamit ng mababang presyon ay mahalaga para sa pag-stabilize ng plasma at pagpapadali ng gas ionization.

2. Ipakilala ang Prosesong Gas: Mag-iniksyon ng mga partikular na proseso ng gas sa lukab. Ang mga gas na ito ay nagsisilbing pangunahing pinagmumulan ng mga particle sa plasma.

3. Pasiglahin ang Plasma: Ilapat ang kapangyarihan upang i-ionize ang gas, na epektibong bumubuo ng plasma.

4. I-deactivate ang Plasma at Ibalik ang Atmospheric Pressure: Kapag kumpleto na ang mga gustong reaksyon, patayin ang plasma at ibalik ang chamber sa atmospheric pressure.

Mga Application ng Low-Temperature Plasma sa Semiconductor Manufacturing:

Ang mababang-temperatura na plasma ay kailangang-kailangan sa paggawa ng semiconductor, na nagsisilbi sa mga kritikal na function sa dry etching, physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), atomic layer deposition (ALD), ion implantation, ashing, at endpoint detection. Ang versatility at kahusayan nito ay ginagawa itong pangunahing tool sa industriya.

Mga alok ng Semicorexmataas na kalidad na mga solusyon para sa pag-ukit ng plasma. Kung mayroon kang anumang mga katanungan o kailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa amin.

Makipag-ugnayan sa telepono # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com