Mga Parameter ng Proseso ng Pag-ukit

Pag-ukitay isang kritikal na hakbang sa paggawa ng chip, na ginagamit upang lumikha ng mga maliliit na istruktura ng circuit sa mga wafer ng silikon. Kabilang dito ang pag-alis ng mga layer ng materyal sa pamamagitan ng kemikal o pisikal na paraan upang matugunan ang mga partikular na kinakailangan sa disenyo. Ipapakilala ng artikulong ito ang ilang pangunahing parameter ng pag-ukit, kabilang ang hindi kumpletong pag-ukit, sobrang pag-ukit, rate ng pag-ukit, pag-undercut, pagkapili, pagkakapareho, aspect ratio, at isotropic/anisotropic etching.

Ano ang Hindi KumpletoPag-ukit?

Ang hindi kumpletong pag-ukit ay nangyayari kapag ang materyal sa itinalagang lugar ay hindi ganap na naalis sa panahon ng proseso ng pag-ukit, na nag-iiwan ng mga natitirang layer sa mga pattern na butas o sa mga ibabaw. Ang sitwasyong ito ay maaaring lumitaw mula sa iba't ibang mga kadahilanan, tulad ng hindi sapat na oras ng pag-ukit o hindi pantay na kapal ng pelikula.

sobra-Pag-ukit

Upang matiyak ang kumpletong pag-alis ng lahat ng kinakailangang materyal at isaalang-alang ang mga pagkakaiba-iba sa kapal ng layer sa ibabaw, ang isang tiyak na halaga ng labis na pag-ukit ay karaniwang isinasama sa disenyo. Nangangahulugan ito na ang aktwal na lalim ng pag-ukit ay lumampas sa target na halaga. Ang naaangkop na over-etching ay mahalaga para sa matagumpay na pagpapatupad ng mga kasunod na proseso.

EtchRate

Ang etch rate ay tumutukoy sa kapal ng materyal na inalis sa bawat yunit ng oras at isang mahalagang tagapagpahiwatig ng kahusayan sa pag-ukit. Ang isang karaniwang kababalaghan ay ang epekto ng pag-load, kung saan ang hindi sapat na reaktibong plasma ay humahantong sa pinababang mga rate ng etch o hindi pantay na pamamahagi ng etch. Maaari itong mapabuti sa pamamagitan ng pagsasaayos ng mga kondisyon ng proseso tulad ng presyon at kapangyarihan.

Undercutting

Nangyayari ang undercutting kapagukithindi lamang nangyayari sa target na lugar ngunit umaabot din pababa sa mga gilid ng photoresist. Ang hindi pangkaraniwang bagay na ito ay maaaring magdulot ng mga hilig na sidewall, na nakakaapekto sa katumpakan ng dimensyon ng device. Ang pagkontrol sa daloy ng gas at oras ng pag-ukit ay nakakatulong na mabawasan ang paglitaw ng undercutting.

Selectivity

Selectivity ay ang ratio ngukitmga rate sa pagitan ng dalawang magkaibang mga materyales sa ilalim ng parehong mga kondisyon. Ang isang mataas na selectivity ay nagbibigay-daan sa mas tumpak na kontrol sa kung aling mga bahagi ang nakaukit at kung alin ang pinananatili, na mahalaga para sa paglikha ng mga kumplikadong multilayer na istruktura.

Pagkakatulad

Sinusukat ng pagkakapareho ang pagkakapare-pareho ng mga epekto ng pag-ukit sa buong wafer o sa pagitan ng mga batch. Tinitiyak ng mahusay na pagkakapareho na ang bawat chip ay may katulad na mga katangian ng kuryente.

Aspect Ratio

Ang aspect ratio ay tinukoy bilang ang ratio ng taas ng feature sa lapad. Habang umuunlad ang teknolohiya, dumarami ang pangangailangan para sa mas matataas na aspect ratio para gawing mas compact at mahusay ang mga device. Gayunpaman, ito ay nagpapakita ng mga hamon para saukit, dahil nangangailangan ito ng pagpapanatili ng verticality habang iniiwasan ang labis na pagguho sa ibaba.

Paano Ginagawa ang Isotropic at AnisotropicPag-ukitMagkaiba?

Isotropikoukitnangyayari nang pantay-pantay sa lahat ng direksyon at angkop para sa ilang partikular na aplikasyon. Sa kabaligtaran, ang anisotropic etching ay pangunahing umuusad sa patayong direksyon, na ginagawa itong perpekto para sa paglikha ng tumpak na tatlong-dimensional na istruktura. Ang modernong pagmamanupaktura ng integrated circuit ay madalas na pinapaboran ang huli para sa mas mahusay na kontrol sa hugis.

Nag-aalok ang Semicorex ng mataas na kalidad na mga solusyon sa SiC/TaC para sa semiconductorICP/PSS etching at Plasma ukitproseso. Kung mayroon kang anumang mga katanungan o kailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa amin.

Makipag-ugnayan sa telepono # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com