PBN composite heaters

Ang Semicorex PBN composite heaters ay sumasama sa mahusay na thermal conductivity ng pyrolytic grapayt na may kemikal na pagkawalang -kilos at elektrikal na pagkakabukod ng pyrolytic boron nitride. Ang mga heaters na ito ay itinayo mula sa isang napakataas na kadalisayan ng grapayt at PBN na inilalapat gamit ang isang mataas na kalidad na proseso ng CVD (kemikal na singaw) sa ilalim ng mga kondisyon ng pag -aalis ng kadalisayan. Ang bawat indibidwal na layer ng tagumpay ay naideposito na may labis na pagkontrol upang matiyak ang ultra-mataas na kadalisayan at pare-pareho ang mga katangian ng thermal. Ang grapayt core, na nagbibigay ng mabilis at pantay na pag -init sa buong, ay protektado mula sa oksihenasyon at kontaminasyon ng kapsula ng PBN; Ginagawa nitong mainam ang pampainit para sa mga kapaligiran ng gas ng vacuum at mga kapaligiran ng gas. Ang mga heaters ng PBN na ito ay sadyang dinisenyo para magamit sa MBE (molekular beam epitaxy) reaktor, CVD reaktor, at iba pang mga sistema ng paglago ng kristal.

Ang pyrolytic boron nitride-pyrolytic grapayt (PBN-PG) na composite heater ay isang pampainit na gumagamit ng high-insulation PBN bilang substrate at gumagamit ng mababang presyon ng thermal decomposition chemical vapor deposition (CVD) sa mababang presyon (sa ibaba 10Torr) at mataas na temperatura sa amerikana ang conductive PG. Ang mga pangunahing sangkap ng composite heater na ito ay pyrolytic boron nitride (PBN) at pyrolytic grapayt (PG). Dahil sa mahusay na paglaban ng kaagnasan at paglaban ng mataas na temperatura, pangunahing ginagamit ito para sa semiconductor substrate heating (ginamit sa MBE, MOCVD, sputtering coating, atbp.); superconductor substrate pagpainit; halimbawang pag -init sa panahon ng pagsusuri ng sample; Electron Microscope Sample Heating; pag -init ng metal; mapagkukunan ng pag -init ng metal, atbp.

Ang mga heaters ng PBN ay maaaring makatiis sa mga temperatura ng operating hanggang sa 1600 ° C sa vacuum at magkaroon ng isang pinahusay na kakayahang makatiis ng thermal shock sa anumang mga alternatibong batay sa metal na iyong umaasa. Ang ibabaw ng pampainit ay lubos na makinis at siksik at gumagawa ng makabuluhang mas kaunting mga partikulo sa panahon ng operasyon na kritikal para sa mga aplikasyon kung saan ang kontaminasyon ay hindi maaaring tiisin tulad ng pagproseso ng semiconductor wafer.

Ang pinagsama -samang istraktura ay nagbibigay ng mahusay na pagkakapareho ng thermal sa buong ibabaw ng pampainit, at ang mga resistive na landas nito ay maaaring ipasadya upang payagan ang isang pinasadyang pamamahagi ng init. Ang disenyo na ito ay nagbibigay-daan sa mabilis na ramp-up at cooldown cycle sa panahon ng pagproseso nang walang pag-crack at delaminating dahil sa parehong thermal expansion coefficients ng mga ginamit na materyales. Ang mga electrodes ay may kakayahang may patuloy na patuloy na mataas na kasalukuyang operasyon at katugma din sa vacuum.

Nagbibigay ang Semicorex ng walang limitasyong kakayahang umangkop sa disenyo para sa mga natatanging hugis, sukat at mga kinakailangan sa kapangyarihan kung kinakailangan, upang masiyahan ang mga tiyak na pangangailangan ng aplikasyon; Kung ito ay para sa mga karaniwang laki ng wafer, o mas kumplikadong mga geometry, ginagarantiyahan namin ang dimensional na kawastuhan at pagkakapareho ng thermal sa bawat yunit na ginawa.

Ang mga composite heaters ng PBN ay perpekto para sa mga ultra-malinis na aplikasyon, kabilang ang:

• MBE Systems para sa III-V at II-VI Compound Semiconductor Processing
• Vacuum coating system para sa mga optical na sangkap
• Crystal Growth Systems para sa Sapphire at Sic
• Ang pagproseso ng thermal ng mataas na kadalisayan para sa mga kapaligiran sa pananaliksik at pag-unlad ng lab.