15" Quartz Bell Jar

Ang Semicorex 15" Quartz Bell Jar ay inengineered upang matugunan ang mga hamong ito, na nagbibigay ng solusyon na may mataas na pagganap para sa mid-to-large scale na pagpoproseso ng batch kung saan ang pagkakapareho ng thermal at kadalisayan ng materyal ay mahalaga para sa pag-maximize ng ani. Sa mga industriya ng semiconductor at thin-film, ang integridad ng process chamber ay higit sa lahat. Habang nangangailangan ng pagtaas ng laki ng wafer, ang mga node ay lumiliit at lumiliit, at ang mga node ay lumiliit at lumiliit. nagiging non-negotiable ang kapaligiran.

1. Material Science: Ang Kadalisayan ng Fused Silica

Ang pundasyon ng aming bell jar ay mataas ang kadalisayanfused silica (Quartz). Hindi tulad ng karaniwang salamin, ang quartz ay halos binubuo ng SiO2, na nagbibigay ng mga natatanging katangian na mahalaga para sa paggawa ng semiconductor:

Napakababa ng Kontaminasyon: Ang aming quartz ay pinoproseso upang mabawasan ang mga metal na bakas na elemento (tulad ng Al, Fe, Na, at K) sa antas ng parts-per-billion (ppb). Pinipigilan nito ang pagsasabog ng mga impurities sa wafer sa panahon ng mataas na temperatura na mga siklo, na tinitiyak ang integridad ng elektrikal ng mga device.

Superior Thermal Shock Resistance: Ang Quartz ay nagtataglay ng malapit sa zero na Coefficient of Thermal Expansion (CTE). Nagbibigay-daan ito sa 15" Quartz Bell Jar na makayanan ang mabilis na pag-rampa at pagsusubo ng temperatura nang walang panganib ng bali o pagkapagod sa istruktura—isang kritikal na kinakailangan para sa mga high-throughput na reactor.

Napakahusay na Chemical Inertness: Ang quartz ay lubos na lumalaban sa karamihan ng mga acid (maliban sa hydrofluoric acid) at mga corrosive na proseso ng gas, na tinitiyak na ang chamber ay hindi nababawasan o nawawalan ng gas sa panahon ng agresibong pag-ukit o pag-deposition cycle.

2. Precision engineering at optical na kalinawan

Ang 15" Quartz Bell Jar ay nagbibigay ng maximum volume at pinakamainam na gas flow dynamics para sa layunin ng batch wafer processing. Ang jar ay may vertical chimney (kilala rin bilang isang leeg) na mahusay na idinisenyo upang magbigay ng pumapasok para sa gas o tumulong sa pagkuha ng gas sa pamamagitan ng vacuum mula sa garapon, na ipinapakita sa larawan sa itaas.

Optical Transparency - Ang mataas na antas ng paghahatid ngmateryal na kuwartsna naglalabas ng mga wavelength sa ultraviolet, nakikita at infrared na mga rehiyon ng spectrum ay nagbibigay-daan para sa real time processing pati na rin ang paggamit ng mga panlabas na lamp heater para sa mabilis na thermal processing (RTP).

Reinforced Sealing Surfaces - Ang leeg ng garapon ay may espesyal na binuo opaque white seal (tinukoy din bilang ground joint) na nagbibigay ng hermetic (air-sealed) at vacuum-tight interface sa pagitan ng baseplate ng reactor at ng garapon.

Pagsusupil para sa Stress Relief - Lahat ng 15" Quartz Bell Jar ay sumasailalim sa isang mahigpit na proseso ng thermal annealing upang mapawi ang panloob na mekanikal na stress na inilagay sa garapon sa pamamagitan ng mekanikal na proseso ng paghihip o paghubog sa garapon, samakatuwid ay makabuluhang binabawasan ang pagkakataon na ang garapon ay kusang mabibigo kapag inilagay sa ilalim ng vacuum load.

3. Mga Kritikal na Aplikasyon sa Semiconductor Fab

Ang aming 15" Quartz Bell Jar ay partikular na idinisenyo para sa pagsasama sa mga sumusunod na prosesong may mataas na halaga:

Silicon Epitaxy: Nagbibigay ng transparent, non-reactive na sisidlan para sa pagpapalaki ng mataas na kalidad na single-crystal na silicon layer.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Nakatiis sa kinakaing kapaligiran ng plasma habang pinapanatili ang mataas na dielectric na lakas.

Diffusion at Oxidation: Nagsisilbing isang malinis, high-heat chamber para sa pagbuo ng mga gate oxide at dopant drive-in.

Optical Fiber Preform Production: Tamang-tama para sa high-purity deposition ng silica layers sa paggawa ng specialty glass.

Sa Semicorex, pinangangasiwaan namin ang bawat bell jar bilang isang piraso ng precision laboratory equipment. Kasama sa aming proseso ang: Mahigpit na paghanap ng materyal na may na-verify na electronic-gradekuwartsingot; advanced fabrication na pinagsasama ang tradisyonal na glass-blowing skills sa CNC-controlled grinding at polishing; at masusing inspeksyon gamit ang polarized na ilaw para makita ang natitirang stress at laser interferometry para sa mga tumpak na dimensional na pagsusuri.