Alumina mounting base plate

Ang Semicorex alumina mounting base plate ay mga produktong may mataas na kadalisayan na dinisenyo bilang matibay at matatag na mga base para sa pag-mount ng mga chuck ng trabaho sa kagamitan sa katha ng semiconductor. Ang mga plate na ito ay nagbibigay ng kritikal na suporta sa mekanikal at pagkakahanay para sa mga operasyon sa pagproseso ng wafer tulad ng lithography, etching, pag -aalis, at inspeksyon. Mahalaga na tumpak na ihanay ang gawaing chuck sa iba pang mga sangkap ng system upang matiyak na ang pagproseso ng wafer ay maaaring mangyari sa kinakailangang katapatan. Ang mga plato ay ginawa sa pamamagitan ng mga diskarte sa pagproseso na tiyak sa mga keramika upang makamit ang kinakailangang flatness, high-temperatura tibay, at pangmatagalang pagiging maaasahan upang matugunan ang malupit na mga kinakailangan ng modernong semiconductor na katha sa parehong proseso at mga kapaligiran sa kalinisan.

Ang Semicorex alumina mounting base plate ay ginawa mula sa mataas na kadalisayanaluminaAng pagkakaroon ng isang antas ng kadalisayan ≧ 99.5% (tipikal). Ang isang mataas na kadalisayan na alumina ay may mahusay na mga katangian ng mekanikal at thermal pati na rin ang katigasan. Ang mataas na kadalisayan na alumina ay may mahusay na likas na mga de-koryenteng mga katangian ng insulating na pinapayagan din ang mga plate na ito na magamit sa vacuum at mataas na boltahe na aplikasyon kung saan ang panghihimasok sa kuryente ay maaaring isang isyu. Ang alumina ay magiging lumalaban sa thermal cycling, na nagbibigay -daan sa mga plato upang mapanatili ang mas mahusay na dimensional na kawastuhan kaysa sa karamihan ng mga materyales at kapaki -pakinabang para sa pagpapanatili ng pagkakahanay o istruktura na katatagan dahil sa nabawasan na pagpapalawak ng thermal. Mahalaga ang kadahilanan na ito sa pagtiyak ng pag -uulit ng chuck at implicit na pagpapahintulot sa proseso, habang nagpapatakbo sa mga pinalawig na siklo ng produksyon.

Sa mga sistema ng pagproseso ng semiconductor, ang isang mounting base plate ay hindi lamang isang aparato para sa mekanikal na pangkabit. Ito ay ang daluyan ng thermal contact sa pagitan ng chuck at ang natitirang kagamitan at kritikal para sa thermal dissipation, integridad ng istruktura, at paghihiwalay ng panginginig ng boses. Ang mga aksyon sa pagproseso tulad ng (ngunit hindi limitado sa) CVD, PVD, o pagtatanim ng ion, kung saan ang mataas na temperatura at mga presyon ng vacuum ay pangkaraniwan, nangangailangan ng isang mounting base na maging thermally resistant, chemically inert & resistant, mekanikal na tunog, at lumalaban sa thermal shock. Ang kemikal na pagkawalang -galaw ay mahalaga dahil ang isang bundok ay dapat na katugma sa mga reaktibo na gas, pati na rin ang paglilinis ng mga chemistries, pagpapalawak ng kapaki -pakinabang na buhay ng bundok at pumipigil sa kontaminasyon.

Ang bawat alumina mounting base plate na ginawa ng semicorex ay makina sa pagpapahintulot na hinihiling ng mga semiconductor OEM, at mga integrator ng kagamitan. Ang mga plato ay makina sa masikip na pagpapaubaya para sa kapal, pagkakaiba -iba ng taas, at pagiging patag upang matiyak ang maximum na katatagan at pag -uulit. Ang mga mounting plate na ito ay maaaring gawin gamit ang mga mounting hole, slot, o countersink sa mga pagtutukoy ng customer upang mas mahusay na mapaunlakan ang mga chuck ng trabaho, mga yugto ng mekanikal, o iba pang kagamitan. Ang alumina ceramic ay naproseso gamit ang mga modernong diskarte sa paggiling at katumpakan upang ma -optimize ang isang pantay na microstructure at kalidad ng ibabaw upang matiyak ang pare -pareho na thermal contact at pagkakahanay para magamit sa paglipas ng panahon.

Ang Semicorex alumina mounting base plate ay ginagamit sa iba't ibang mga aplikasyon kabilang ang mga wafer handler, robotic transfer system, vacuum chuck asemble, at mga yugto ng metrolohiya. Ang pagiging maaasahan at tibay na ito sa iba't ibang mga hinihingi na sitwasyon ng proseso, ginagawang produkto ng pagpili sa mga tagagawa ng tool na naghahanap ng matatag, pangmatagalang, mababang mga sangkap ng pagpapanatili ng ceramic. Ang aming mga kasosyo sa engineering group sa mga customer upang magbigay ng mga natatanging solusyon na tinukoy para sa bawat plato upang ma -maximize ang kahusayan para sa paggawa sa isang semiconductor.

Ang alumina mounting base plate ay higit pa sa isang mekanikal na suporta; Ito ay isang pangunahing sangkap sa precision engineering sa industriya ng semiconductor. Sa mahusay na mekanikal na katatagan, kadalisayan, at pag -configure, tinitiyak nila ang tumpak na pagkakahanay, mahabang buhay, at maaasahang operasyon sa isang malawak na hanay ng mga tool sa proseso. Para sa mataas na pagganap ng mga plate ng pag -mount ng pagganap, na nakakatugon sa mataas na inaasahan ng mga tagagawa ng semiconductor ngayon, Trust Semicorex.