ARMINA ROBOT ARM

Ang braso ng Semicorex alumina robot ay isang mataas na pagganap na ceramic na bahagi na idinisenyo para sa paghawak ng wafer at paglipat ng mga gawain sa paggawa ng semiconductor. Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina ceramic (al₂o₃), ang robotic braso na ito ay nag-aalok ng kakayahang umangkop, katumpakan, pagiging maaasahan, at tibay sa mga kalinisan.

Ang nakatayo sa pabor ng braso ng alumina robot ay ang mga katangian ngalumina ceramiclakas at katigasan ng mekanikal. Bilangaluminaay ginawang mas dalisay, ang alumina ay nagpapanatili ng isang mas mahusay na integridad ng istruktura at ginagawang mas lumalaban sa mekanikal na pagsusuot at pagpapapangit. Bilang isang materyal, ang alumina ay isang mahusay na pagpipilian para sa mga robotic na bahagi na ginagamit sa maselan at paulit-ulit na mga gawain sa paghawak ng wafer, i.e. kapag ang isang braso ng robot ay kailangang magsagawa ng parehong pag-andar at makipag-ugnay sa mga wafer, na ang menor de edad na pagbaluktot na inilalapat sa wafer ng braso ng robot ay maaaring gastos ng isang pagkalugi sa ani ng pasilidad. Ang mataas na tigas, i.e. mahigpit na ibabaw, ay maaaring makatulong sa nakasasakit na pagtutol at pagganap ng buhay, i.e. pagpapalawak ng buhay at tagal ng serbisyo/ kapalit sa isang robotic na sangkap.

Higit pa sa mekanikal na tibay nito, ang braso ng alumina robot ay isang mahusay din na elektrikal na insulator. Ang resistivity ay hanggang sa 10¹⁵ ω · cm at ang lakas ng pagkakabukod ay hanggang sa 15 kV/mm sa temperatura ng silid, na nagbibigay ng isang mas ligtas na kapaligiran upang mapatakbo, lalo na kung ang nakakasagabal na mga signal ng elektrikal ay dapat mabawasan sa kagamitan sa pagproseso. Ito ay nagiging mahalaga kapag pinoprotektahan ang mga sensitibong sangkap ng semiconductor na paglilipat sa pagitan ng mga proseso na may kaunting panganib ng pagkasira ng electrostatic discharge (ESD).

Ang alumina ceramic ay mahusay sa pagpapanatili ng katatagan sa buong mataas na temperatura. Ang natutunaw na punto ay tungkol sa 2050 ° C at makatiis ng mataas na temperatura sa pagproseso ng thermal ng semiconductor nang walang warping o dimensional na kawastuhan. Ang mataas na pagtutol ng init ay nagbibigay -daan sa braso na magamit sa mga proseso tulad ng mabilis na thermal annealing (RTA) o kemikal na pag -aalis ng singaw (CVD), kung saan kritikal ang pag -align ng katumpakan at thermal na katatagan.

Ang isa sa iba pang mga makabuluhang benepisyo ng braso ng alumina robot ay ang pagkawalang -kilos nito. Ang ibabaw nito ay hindi gumagalaw sa karamihan ng mga ahente ng paglilinis at mga proseso ng gas na ginagamit sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Samakatuwid, mananatili itong walang kontaminasyon at hindi nag-aambag sa kontaminasyon sa ibabaw ng wafer. Ang kemikal na kawalang-kilos na ito ay susi sa pagkamit ng mga kondisyon ng produksiyon ng ultra-malinis at pagbibigay ng pare-pareho na pagganap ng aparato.

Alumina ceramicay din ng isang abot -kayang pagpipilian para sa tooling semiconductor. Ito ay kaagad na magagamit bilang isang hilaw na materyal at ang mga proseso ng machining ng mga alumina keramika ay mahusay na nauunawaan at madaling nasusukat. Pinapayagan nito ang maaaring muling gawin at pare-pareho ang pagpapahintulot para sa mga de-kalidad na bahagi na magagawa sa isang mapagkumpitensyang presyo. Ang halo ng pagganap at kakayahang magamit ay ginagawang perpekto ang braso ng alumina para sa mga OEM at semiconductor fabs kung saan nangangailangan ka ng maaasahang mga sangkap ng automation na hindi masira ang bangko.

Sa buod, ang braso ng alumina robot ay nagbibigay ng mataas na pagganap ng mekanikal, mataas na pagganap ng dielectric, mataas na thermal resistance, mataas na pagganap ng kemikal, lahat ay may napatunayan na paggawa sa isang matipid na presyo. Sama -sama, ang mga katangian ng pagganap na ito ay ginagawang maaasahan at mahusay para sa mga aplikasyon ng paghawak ng wafer sa paghawak ng semiconductor, pagpapagana ng pinahusay na ani, potensyal na pagbaba ng panganib sa kontaminasyon at pagpapabuti ng pangkalahatang pagiging epektibo ng kagamitan.