Annular-Grooved Alumina Chucks

Ang mga semicorex annular-grooved alumina chuck ay nagpapatibay ng istraktura sa ibabaw na binubuo ng isang serye ng maraming concentric annular grooves. Kapag nakakonekta sa vacuum pump, ang mga groove na ito ay bumubuo ng hugis-singsing na mga negatibong pressure zone upang matatag na humawak ng manipis na mga wafer at workpiece na may tumpak na pagpoposisyon. Ang Semicorex annular-grooved alumina chucks ay gumagana nang maayos sa ilalim ng mga kondisyon sa pagtatrabaho na nangangailangan ng mahigpit na pamamahala ng flatness at pantay na ipinamahagi na puwersa ng adsorption, na malawakang ginagamit sa paghawak ng wafer, pagpoposisyon ng pagkakalantad, pag-ukit ng plasma, gayundin sa mga proseso ng inspeksyon at paglipat ng wafer.

Mga kalamangan ng Semicorex annular-grooved alumina chucks

1. Pambihirang paglaban sa mataas na temperatura

Ang alumina ceramics na gawa sa densification sintering ay nagpapakita ng kahanga-hangang thermal performance. Dahil sa materyal na ari-arian na ito, ang Semicorex annular-grooved alumina chucks ay gumaganap nang matatag sa ilalim ng matinding mataas na temperatura na mga working environment na walang structural deformation at performance degradation sa pangmatagalang paggamit.

2. Unipormeng puwersa ng adsorption

Semicorex annular-groovedalumina chucksnagtatampok ng maramihang mga annular grooves sa kanilang adsorption surface, kung saan nabuo ang mga stable na hugis singsing na vacuum zone. Ang pagsasaayos na ito ay nagbibigay-daan sa pare-parehong puwersa ng adsorption sa mga pangunahing lugar ng contact ng wafer, na sa gayon ay makabuluhang nagpapababa ng bahagyang deformation at warpage ng wafer.

3. Superior structural stability at mataas na repeat positioning accuracy

Ipinagmamalaki ang napakahusay na higpit ng materyal at katatagan ng istruktura, ang Semicorex annular-grooved alumina chucks ay nakapagpapanatili ng mahusay na flatness at pare-parehong katumpakan ng pagpoposisyon sa panahon ng paulit-ulit na operasyon ng vacuum clamping sa mahabang panahon.

4. Malakas na paglaban sa kaagnasan ng kemikal

Dahil saaluminaAng maaasahang katatagan ng kemikal, ang Semicorex annular-grooved alumina chucks ay nagtatampok ng natitirang paglaban sa karamihan ng acidic at alkaline substance, pati na rin ang iba't ibang mga corrosive na proseso ng gas at lubos na inangkop sa mga mapaghamong kondisyon ng pagpapatakbo.

5. Napakahusay na kalinisan

Dahil sa mahigpit na kontrol sa kadalisayan ng materyal at paggamot sa densification, ang Semicorex annular-grooved alumina chuck ay bihirang magbuhos ng mga particle o maglalabas ng mga impurities sa serbisyo, na ganap na nakakatugon sa mahigpit na mga pamantayan sa mababang kontaminasyon sa mga semiconductor cleanroom.

Bakit pumili ng Semicorex?

Bilang kumpanyang nangunguna sa industriya sa China, ang Semicorex ay sinusuportahan ng pinagsama-samang mga linya ng produksyon at isang mahusay na karanasang teknikal na koponan. Maaari kaming mag-alok ng pinasadyang teknikal na suporta at na-optimize na mga solusyon sa proseso sa aming mga customer at bigyan sila ng hindi karaniwang pag-customize na pagmamanupaktura ng aming annular-grooved alumina chucks sa kadalisayan ng materyal, hugis ng chucks, mga sukat, flatness, tolerances at iba pang mga kinakailangan.