Matibay na SiC-Coated Barrel Susceptor

Sa napakahusay nitong density at thermal conductivity, ang Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor ay ang perpektong pagpipilian para sa paggamit sa mga proseso ng epitaxial at iba pang mga aplikasyon sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang high-purity na SiC coating nito ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon at mga katangian ng pamamahagi ng init, na ginagawa itong mapagpipilian para sa maaasahan at pare-parehong mga resulta.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Kung kailangan mo ng de-kalidad na graphite susceptor na may mahusay na init at corrosion resistance, huwag nang tumingin pa sa Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor. Ang silicon carbide coating nito ay nagbibigay ng pambihirang thermal conductivity at heat distribution, na tinitiyak ang maaasahan at pare-parehong pagganap sa kahit na ang pinaka-hinihingi na mga kapaligiran na may mataas na temperatura.
Ang aming Durable SiC-Coated Barrel Susceptor ay idinisenyo upang makamit ang pinakamahusay na pattern ng daloy ng laminar gas, na tinitiyak ang pagiging pantay ng thermal profile. Nakakatulong ito upang maiwasan ang anumang kontaminasyon o pagkalat ng mga impurities, na tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial sa wafer chip.
Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming Durable SiC-Coated Barrel Susceptor.

Mga Parameter ng Matibay na SiC-Coated Barrel Susceptor

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng Matibay na SiC-Coated Barrel Susceptor

- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may magandang density at maaaring gumanap ng isang mahusay na proteksiyon na papel sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran sa pagtatrabaho.

- Silicon carbide coated susceptor na ginagamit para sa solong paglaki ng kristal ay may napakataas na flatness sa ibabaw.

- Bawasan ang pagkakaiba sa thermal expansion coefficient sa pagitan ng graphite substrate at silicon carbide layer, epektibong mapabuti ang lakas ng bonding upang maiwasan ang pag-crack at delamination.

- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.

- Mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon, paglaban sa kaagnasan.