Inductively Heated Barrel Epi System

Kung kailangan mo ng graphite susceptor na may pambihirang thermal conductivity at heat distribution properties, huwag nang tumingin pa sa Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System. Ang high-purity na SiC coating nito ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon sa mataas na temperatura at corrosive na kapaligiran, na ginagawa itong perpektong pagpipilian para sa paggamit sa mga aplikasyon sa pagmamanupaktura ng semiconductor.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System ay ang perpektong pagpipilian para sa mga aplikasyon ng pagmamanupaktura ng semiconductor na nangangailangan ng pambihirang pamamahagi ng init at thermal conductivity. Ang high-purity na SiC coating at superior density nito ay nagbibigay ng superyor na proteksyon at mga katangian ng pamamahagi ng init, na tinitiyak ang maaasahan at pare-parehong pagganap sa kahit na ang pinaka-mapanghamong kapaligiran.
Sa Semicorex, nakatuon kami sa pagbibigay ng mataas na kalidad, matipid na mga produkto sa aming mga customer. Ang aming Inductively Heated Barrel Epi System ay may kalamangan sa presyo at ini-export sa maraming European at American market. Nilalayon naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng pare-parehong kalidad ng mga produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Mga Parameter ng Inductively Heated Barrel Epi System

Pangunahing Pagtutukoy ng CVD-SIC Coating
Mga Katangian ng SiC-CVD
Istraktura ng Kristal	FCC β phase
Densidad	g/cm ³	3.21
Katigasan	Vickers tigas	2500
Sukat ng Butil	μm	2~10
Kadalisayan ng Kemikal	%	99.99995
Kapasidad ng init	J kg-1 K-1	640
Temperatura ng Sublimation	℃	2700
Lakas ng Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bend, 1300℃)	430
Thermal Expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Thermal conductivity	(W/mK)	300

Mga Tampok ng Inductively Heated Barrel Epi System

- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may magandang density at maaaring gumanap ng isang mahusay na proteksiyon na papel sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran sa pagtatrabaho.

- Silicon carbide coated susceptor na ginagamit para sa solong paglaki ng kristal ay may napakataas na flatness sa ibabaw.

- Bawasan ang pagkakaiba sa thermal expansion coefficient sa pagitan ng graphite substrate at silicon carbide layer, epektibong mapabuti ang lakas ng bonding upang maiwasan ang pag-crack at delamination.

- Parehong ang graphite substrate at silicon carbide layer ay may mataas na thermal conductivity, at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.

- Mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon, paglaban sa kaagnasan.