Inner Guide Tube

Ang Semicorex Inner Guide Tube ay isang precision-engineeredbahagi ng carbon/carbon (C/C).idinisenyo para sa mga advanced na high-temperature thermal field application, lalo na sa paglaki ng mga high-purity na silicon na kristal. Bilang isang kritikal na elemento sa loob ng mga crystal growth furnace, ang bahaging ito ay gumaganap ng isang pangunahing papel sa paghubog at pag-stabilize ng thermal gradient, na tinitiyak ang pinakamainam na pagbuo ng kristal at pare-pareho ang kalidad ng materyal.

Ginawa mula sa high-density carbon fiber-reinforced carbon composite, ang Inner Guide Tube ay nag-aalok ng pambihirang integridad ng istruktura at thermal stability sa ilalim ng matinding mga kondisyon. Sa density na ≥1.35 g/cm³ at flexural strength na ≥110 MPa, pinapanatili nito ang mekanikal na tibay kahit na sa matagal na pagkakalantad sa matataas na temperatura. Ang mga katangiang ito ay mahalaga sa paggawa ng silikon na may antas ng semiconductor, kung saan kahit na ang mga maliliit na pagbabago sa mga kondisyon ng thermal ay maaaring makaapekto nang malaki sa pagkakapareho ng kristal at mga rate ng depekto.

Core Functionality: Precision Gradient Control

Ang pangunahing tungkulin ng C/C Inner Guide Tube ay ang bumuo ng isang tumpak na field ng gradient na temperatura. Sa panahon ng proseso ng paglaki ng kristal na silikon, nakaposisyon ito nang direkta sa itaas ng natunaw upang:

Direktang Daloy ng Gas: Ginagabayan nito ang daloy ng inert argon gas, tinitiyak na ang mga singaw ng silicon oxide (SiO) ay mahusay na naalis mula sa natutunaw na ibabaw, na pumipigil sa kontaminasyon ng oxygen sa kristal.

Thermal Shielding: Pinoprotektahan nito ang lumalagong kristal mula sa direktang heat radiation mula sa crucible wall, na nagtatatag ng matarik na axial temperature gradient na kinakailangan para sa mataas na bilis, mataas na kalidad na paghatak ng kristal.

Energy Efficiency: Sa pamamagitan ng pag-concentrate ng init sa loob ng melt zone at pag-insulate sa upper furnace na bahagi, makabuluhang binabawasan nito ang kabuuang paggamit ng kuryente.

Mga Teknikal na Detalye at Kahusayan sa Materyal

Ang aming Inner Guide Tubes ay ginawa gamit ang high-densityCarbon/Carbon composites, na nagbibigay ng isang mahusay na alternatibo sa tradisyonal na grapayt. Ang mga katangian ng materyal ay na-optimize para sa matinding kondisyon ng mga semiconductor vacuum furnace:

Densidad: ≥ 1.35 g/cm³

Flexural Strength: ≥ 110 MPa

Coefficient ng Thermal Expansion (CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

Thermal Conductivity (Temperatura ng Kwarto): ≤ 10 W/(m·K)

Industriya

Habang umuusad ang industriya patungo sa mas malalaking sukat ng wafer (300mm at 450mm), ang mga pangangailangan sa thermal field ay tumataas nang husto. Ang aming Inner Guide Tubes ay tugma sa mga pangunahing CZ furnace brand at maaaring i-customize sa mga tuntunin ng geometry at coating.