Paano malulutas ng mga advanced na materyales ang 3 kritikal na mga hamon sa disenyo ng semiconductor hurno

Ang lahi upang pag -urong ng mga laki ng transistor at scale ng kahusayan ng solar cell ay nagtutulak ng mga kagamitan sa pagproseso ng thermal sa mga limitasyon nito. Sa Semicorex, ginugol namin ang dalawang dekada na nakikipagtulungan sa nangungunang mga tagagawa ng semiconductor at PV upang matugunan ang isang paulit -ulit na punto ng sakit: Kapag ang mga karaniwang materyales ay nabigo sa ilalim ng matinding kondisyon, ang buong mga batch ng produksyon ay maaaring ikompromiso.

Mga Coatings ng CVD: Ang Armor para sa Mga Bahagi ng Proseso

Ang mga chemical vapor deposition (CVD) coatings tulad ng silikon na karbida (sic) at tantalum carbide (TAC) ay nagbabago ng kahabaan ng sangkap sa malupit na mga kapaligiran:

Sic coatingMga kalamangan:

Nakatatag ng mga temperatura hanggang sa 1,650 ° C sa mga inert atmospheres

Binabawasan ang kontaminasyon ng butil sa mga epitaxial growth reaktor

Nagpapalawak ng buhay ng serbisyo ng mga graphic na susi sa pamamagitan ng 3-5x

TAC Coatingsa pagsasabog ng mga hadlang:

Pinipigilan ang tinunaw na paglusot ng silikon sa mga crucibles (99.999% na pagpapanatili ng kadalisayan)

Pinapaliit ang wafer warpage sa panahon ng mabilis na pagproseso ng thermal (RTP)

Kapag ang temperatura ay lumampas sa 1600 ° C: ang kalamangan ng patong ng CVD

Hindi ito mahika - ito ay agham ng mga materyales. Ang aming pagmamay-ari ng proseso ng CVD ay nagdeposito sa parehong mga coatings ng SIC at TAC na may katumpakan na antas ng atomic, na lumilikha ng mga ibabaw na:

Tumanggi sa Silicon Vapor Corrosion 3x na mas mahaba kaysa sa karaniwang mga coatings

Panatilihin ang <0.5µm na pagkakaiba -iba ng kapal sa buong kumplikadong geometry

Tanggalin ang patong ng patong kahit na sa ilalim ng thermal cycling

Ang tahimik na krisis sa thermal uniporme

Sa mga hurno ng paglago ng kristal, ang hindi pantay na pamamahagi ng temperatura ay maaaring maging isang $ 250k silikon na ingot sa scrap. Sa pamamagitan ng mga materyal na makabagong tulad ng:

Nadama ang gradmed gradied gradi (0.18-0.25g/cm³ gradient design)

Carbon-carbon composite insulators na may <2% thermal expansion anisotropy

... tinulungan namin ang mga kliyente na makamit:

✔️ ± 1.5 ° C axial temperatura pagkakapareho sa 300mm czochralski system

✔️ 40% mas mabilis na mga rate ng paglamig nang walang pag -crack ng ingot

Bakit higit na mahalaga ang quartz kadalisayan kaysa dati

Kapag ang isang tier-1 mems foundry ay sinubaybayan ang mga depekto ng butil na butil sa kanilang mga etching chamber liner, ang aming bubble-free fused quartz solution:

Nabawasan ang kontaminasyon ng metal sa pamamagitan ng 89% (pagsusuri ng ICP-MS)

Pinalawak na agwat ng pagpapanatili ng pagpigil mula 3 hanggang 8 buwan

Nakamit ang 99.999% paunang kadalisayan na may <0.1ppb alkali metal na nilalaman

Higit pa sa mga pagtutukoy: Mga bagay sa Application Engineering

Habang ang mga teknikal na specs ay nagbibigay ng mga paghahambing sa baseline, ang pagganap ng tunay na mundo ay nakasalalay sa:

• Pag -aayos ng materyal na proseso - kung paano nakikipag -ugnay ang mga sangkap sa mga tiyak na chemistries (hal., Cl₂ kumpara sa SF₆ Plasmas)

• Mga Library ng Mode ng Kabiguan - Ang aming database ng 1,200+ Mga Kaso sa Pagkabigo ng Bahagi ay nagpapaalam sa pagpili ng materyal

• Pasadyang Grading - Pag -aayos ng Graphite Porosity/Conductivity sa Bahagi ng Mga Cross -Sections

Nag-aalok ang Semicorex ng mataas na kalidadPinahiran ng Tantalum CarbideatPinahiran ng carbide ng silikonmga pasadyang bahagi. Kung mayroon kang anumang mga katanungan o nangangailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag -atubiling makipag -ugnay sa amin.

Makipag-ugnay sa Telepono # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com