Paggamot sa ibabaw para sa high-end na electrostatic chuck

AngElectrostatic ChuckNagsasagawa ng maraming mga pag -andar tulad ng pantay na paglabas ng electrostatic, pagpapadaloy ng init at wafer adsorption at pag -aayos sa larangan ng paggawa ng semiconductor. Ang isa sa mga pangunahing pag -andar ng ESC ay ang stably adsorb wafers sa ilalim ng matinding mga kondisyon ng operating tulad ng mataas na vacuum, malakas na plasma, at isang malawak na saklaw ng temperatura.

Ang tunay na tumutukoy sa kanilang pagganap ay hindi ang panlabas na istraktura o ang pormula ng base na materyal, ngunit ang proseso ng paggamot sa ibabaw.Without propesyonal na paggamot sa ibabaw, ang mga sumusunod na problema ay makatagpo sa panahon ng operasyon:

1. Pag -aalis ng Plasma at kontaminasyon ng metal ion

Ang mga hindi protektadong ceramic na ibabaw ay mahina laban sa pagguho ng plasma sa etching o mga setting ng proseso ng CVD.Ang uri ng pagguho ay maaaring direktang magreresulta sa pagpapakawala ng mga metal ion o ang pagpapadanak ng mga ceramic particle, sa gayon ay kontaminado ang wafer.

2. Hindi pantay na thermal conductivity at pagpapapangit ng warpage

Magaspang na ibabaw o hindi magandang paggamot ay nagreresulta sa hindi pantay na pakikipag -ugnay sa pagitan ng wafer at angESC, pagpigil sa pagpapadaloy ng init at nakakaapekto sa pagkakapareho ng CD.

3. Hindi matatag na electrostatic adsorption

Ang hindi tumpak na kontrol ng pagganap ng pagkakabukod ng ibabaw o kondaktibiti ng electrostatic chuck ay madaling humantong sa hindi sapat na puwersa ng adsorption o labis na adsorption, sa huli ay direktang nakakaapekto sa ani ng pagproseso ng wafer.

Ang ibabaw ng mga high-end na ESC ay madalas na nagpatibay ng isang pinagsama-samang disenyo ng istraktura ng multi-layer, tumpak na kinokontrol ang mga functional na lugar sa pamamagitan ng mga coatings upang makamit ang tunay na pagsasama ng mataas na pagganap.

Ang mga karaniwang teknolohiya sa paggamot sa ibabaw ng mga high-end na ESC:

3. PVD conductive ceramic films (tulad ng crsin at lata)

Ang ganitong uri ng patong ay lalong angkop para sa mga kapaligiran na proseso ng mababang temperatura dahil sa mababang enerhiya na walang enerhiya, na epektibong pinipigilan ang adsorption ng mga nalalabi sa photoresist.

2. Mga coatings na tulad ng Diamond-tulad ng Carbon (DLC)

Sa mataas na tigas, paglaban sa plasma, at isang mababang koepisyent ng alitan, angkop ang mga ito para sa mga anti-erosion at anti-particle detatsment application sa mga kagamitan sa etching.

3. PVD conductive ceramic films (tulad ng crsin at lata)

Ang ganitong uri ng patong ay maaaring bumuo ng isang matatag na landas ng kondaktibo sa isang tiyak na lugar, at sa gayon ay epektibong maiwasan ang problema ng lokal na akumulasyon ng singil sa pamamagitan ng tumpak na pagkontrol sa pantay na paglabas ng mga singil sa ibabaw.

4.Composite thermal conductive coatings (tulad ng brilyante na pulbos at fluoropolymer hybrid coating)

Ang ganitong uri ng patong ay pinagsasama ang mga hindi katangian na hindi mapag-aalinlangan na may thermal conductivity, at ang pangkalahatang pagganap nito ay maaaring tumpak na tumugma sa mga kinakailangan ng aplikasyon ng high-precision thermal control ESC.