Ano ang Function ng Focus Rings?

Ang mga focus ring ay ang mga mahahalagang bahagi upang matiyak ang pagkakapareho at katatagan ng mga proseso ng pag-ukit ng semiconductor. Sa pamamagitan ng tumpak na kontrol ng mga electric at thermal field, ang mga focus ring ay makakapag-concentrate ng plasma sa ibabaw ng wafer, na tinitiyak ang pare-parehong resulta ng pag-ukit sa lahat ng lokasyon sa wafer.

Ang mga function ng focus rings

1. Pagbutihin ang pagkakapareho ng pag-ukit

Sa proseso ng pag-ukit, ang mga singsing ng pokus ay maaaring tumutok ng plasma saostiyaibabaw, na epektibong ginagarantiyahan ang pare-parehong density ng plasma, anggulo ng pagbomba ng ion, at mga antas ng enerhiya sa parehong gilid ng wafer at gitnang mga rehiyon. Itinatama nila ang pamamahagi ng electric field sa gilid ng wafer, binabawasan ang rate ng pag-ukit, kritikal na dimensyon, at mga pagkakaiba-iba ng morpolohiya na dulot ng mga epekto sa gilid, kaya tinitiyak ang pagkakapare-pareho ng pag-ukit sa buong ibabaw ng wafer. Kung ang focusing ring ay sobrang pagod o walang focal ring, ang plasma ay magdi-diffuse mula sa wafer edge, na sa huli ay magdudulot ng hindi sumusunod na mga deviation sa lapad ng linya sa pagitan ng gilid at gitnang mga rehiyon.

2. Protektahan ang electrostatic chuck

Ang mga focus ring ay kadalasang naka-install sa labas ng wafer carrier surface ng electrostatic chucks, direktang nakalantad sa pambobomba ng plasma at kaagnasan. Ang installment na ito ay nagse-set up ng mga serbisyo bilang pisikal na hadlang upang pigilan ang plasma na makipag-ugnayan sa mga electrostatic chuck sa panahon ng proseso ng pag-ukit, sa gayon ay makabuluhang binabawasan ang panganib ng pagkasira ng plasma. Ang mga focus ring ay maaari ding pigilan ang mga byproduct na nabuo sa panahon ng proseso ng pag-ukit mula sa pagdikit sa mga electrostatic chuck, sa gayon ay maiiwasan ang pagkasira ng pagganap na dulot ng kontaminasyon ng chuck at pagbara. Ito ay lubos na nagpapahaba ng ikot ng pagpapanatili at habang-buhay ng mga electrostatic chuck, na binabawasan ang mga gastos sa pagpapanatili at pagpapalit ng kagamitan.

Ang mga focus ring ay karaniwang ginawa mula sa mataas na kadalisayankuwarts, silikonatsilikon karbidmateryales. Salamat sa kanilang mahusay na komprehensibong pagganap, ang mga materyales ng silicon carbide ay unti-unting nagiging pangunahing opsyon para sa mga cutting-edge na proseso ng pag-ukit. Bilang isang pinagkakatiwalaang supplier ng semiconductor focus ring sa China, nag-aalok ang Semicorex ng mataas na kalidadmga singsing ng pokus ng silikon karbidng iba't ibang laki upang tumugma sa iba't ibang pangangailangan ng kagamitan sa pag-ukit. Tinatanggap ng Semicorex ang iyong mga katanungan at pagbili anumang oras.