Tungkol sa mga depekto sa SiC crystals - Micropipe

SiC substrate can have microscopic defects, such as Threading Screw Dislocation (TSD), Threading Edge Dislocation (TED), Base Plane Dislocation (BPD), and others. These defects are caused by deviations in the arrangement of atoms at the atomic level. SiC crystals may also have macroscopic dislocations, like Si or C inclusions, micropipe, hexagonal voids, polymorphs, etc. These dislocations are typically large in size.

Ang isa sa mga pangunahing isyu sa paggawa ng mga SiC device ay ang mga three-dimensional na microstructure na kilala bilang "micropipe" o "pinholes", na karaniwang 30-40um at 0.1-5um ang laki ayon sa pagkakabanggit. Ang micropipe na ito ay may density na 10-10³/cm² at maaaring tumagos sa epitaxial layer, na nagreresulta sa mga depekto sa device-killer. Pangunahing sanhi ang mga ito ng clustering ng spiro dislocations at itinuturing na pangunahing hadlang sa pagbuo ng mga SiC device.

Ang mga depekto sa microtubule sa substrate ay ang pinagmulan ng iba pang mga depekto na nabuo sa epitaxial layer sa panahon ng proseso ng paglago, tulad ng mga voids, mga pagsasama ng iba't ibang polymorphs, twins, atbp. Samakatuwid, ang pinakamahalagang bagay na dapat gawin sa panahon ng proseso ng paglago ng materyal na substrate para sa mataas na boltahe at mataas na kapangyarihan na SiC na mga aparato ay upang bawasan ang pagbuo ng mga depekto ng microtubule sa mga bulk SiC na kristal at upang maiwasan ang mga ito na makapasok sa epitaxial layer.

Ang micropipe ay maaaring tingnan bilang maliliit na hukay, at sa pamamagitan ng pag-optimize ng mga kondisyon ng proseso maaari nating "punan ang mga hukay" upang mabawasan ang density ng micropipe. Ilang pag-aaral sa literatura at pang-eksperimentong data ang nagpakita na ang evaporation epitaxy, CVD growth, at liquid-phase epitaxy ay maaaring punan ang micropipe at bawasan ang pagbuo ng micropipe at dislokasyon.

Ginagamit ng Semicorex ang MOCVD technique para gumawa ng mga SiC coating na epektibong nagpapababa ng density ng micropipe, na nagreresulta sa mga de-kalidad na produkto. Kung mayroon kang anumang mga katanungan o kailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa amin.

Makipag-ugnayan sa telepono # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com