Ano ang isang MOCVD system?

Ang MOCVD, na kilala bilang Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), ay isang pamamaraan para sa pagpapalaki ng manipis na mga pelikulang semiconductor sa isang substrate. Sa MOCVD, maraming nano-layer ang maaaring ideposito nang may mahusay na katumpakan, bawat isa ay may kontroladong kapal, upang bumuo ng mga materyales na may partikular na optical at electrical properties.

Ang MOCVD system ay isang uri ng chemical vapor deposition (CVD) system na gumagamit ng metal organic precursors upang magdeposito ng mga manipis na pelikula ng materyal sa isang substrate. Ang sistema ay binubuo ng isang reactor vessel, isang sistema ng paghahatid ng gas, isang substrate holder, at isang temperatura control system. Ang mga metal na organic precursor ay ipinapasok sa reactor vessel kasama ng isang carrier gas, at ang temperatura ay maingat na kinokontrol upang matiyak ang paglaki ng isang mataas na kalidad na manipis na pelikula.

Ang paggamit ng MOCVD ay may ilang mga pakinabang sa iba pang mga diskarte sa pag-deposition. Ang isang bentahe ay pinapayagan nito ang pag-deposito ng mga kumplikadong materyales na may tumpak na kontrol sa kapal at komposisyon ng mga manipis na pelikula. Ito ay partikular na mahalaga para sa paggawa ng mga high-performance na semiconductor device, kung saan ang mga materyal na katangian ng manipis na pelikula ay maaaring magkaroon ng malaking epekto sa pagganap ng device.

Ang isa pang bentahe ng MOCVD ay maaari itong magamit upang magdeposito ng mga manipis na pelikula sa iba't ibang mga substrate, kabilang ang silicon, sapphire, at gallium arsenide. Ang kakayahang umangkop na ito ay ginagawa itong isang mahalagang proseso sa paggawa ng malawak na hanay ng mga semiconductor device, mula sa mga computer chips hanggang sa mga LED.

Ang mga sistema ng MOCVD ay malawakang ginagamit sa industriya ng semiconductor, at naging instrumento sila sa pagbuo ng maraming advanced na teknolohiya. Halimbawa, ang MOCVD ay ginamit upang makabuo ng mga high-efficiency na LED para sa mga application sa pag-iilaw at pagpapakita, pati na rin ang mga high-performance na solar cell para sa mga photovoltaic application.