2024-03-18
Ang proseso ng paglago ng monocrystalline silicon ay kadalasang nangyayari sa loob ng isang thermal field, kung saan ang kalidad ng thermal environment ay makabuluhang nakakaapekto sa kalidad ng kristal at kahusayan sa paglago. Ang disenyo ng thermal field ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa paghubog ng mga gradient ng temperatura at dynamics ng daloy ng gas sa loob ng furnace chamber. Higit pa rito, ang mga materyales na ginamit sa paggawa ng thermal field ay direktang nakakaimpluwensya sa habang-buhay at pagganap nito.
Kahalagahan ng Thermal Field Design
Tinitiyak ng mahusay na disenyong thermal field ang naaangkop na pamamahagi ng temperatura para sa pagkatunaw ng semiconductor at paglaki ng kristal, kaya pinapadali ang paggawa ng de-kalidad na monocrystalline na silikon. Sa kabaligtaran, ang hindi sapat na disenyo ng mga thermal field ay nagreresulta sa mga kristal na hindi nakakatugon sa mga kinakailangan sa kalidad o, sa ilang mga kaso, humahadlang sa paglaki ng kumpletong monocrystals.
Pagpili ng Thermal Field Materials
Ang mga thermal field na materyales ay tumutukoy sa mga structural at insulating na bahagi sa loob ng crystal growth furnace chamber. Kabilang sa mga karaniwang ginagamit na materyales sa pagkakabukod aynadama ng carbon, na binubuo ng manipis na mga hibla na epektibong humaharang sa radiation ng init, sa gayon ay nagbibigay ng pagkakabukod.Naramdaman ang carbonay karaniwang hinahabi sa manipis na sheet-like na materyales, na pagkatapos ay gupitin sa nais na mga hugis at hubog upang magkasya sa rational radii.
Ang isa pang laganap na insulation material ay cured felt, na binubuo ng mga katulad na fibers ngunit gumagamit ng carbon-containing binders upang pagsama-samahin ang dispersed fibers sa isang mas matatag at structured na anyo. Sa pamamagitan ng paggamit ng chemical vapor deposition ng carbon sa halip na mga binder, ang mga mekanikal na katangian ng materyal ay maaaring higit pang mapahusay.
Pag-optimize ng Mga Bahagi ng Thermal Field
Karaniwan, ang insulating cured felts ay pinahiran ng tuluy-tuloy na layer ng grapayt opalarasa kanilang mga panlabas na ibabaw upang mabawasan ang pagguho, pagkasira, at kontaminasyon ng particulate. Ang iba pang mga uri ng carbon-based na insulating materials, tulad ng carbon foam, ay mayroon din. Sa pangkalahatan, mas pinipili ang mga graphitized na materyales dahil sa kanilang makabuluhang pagbawas sa surface area, na humahantong sa pagbaba ng outgassing at mas maikling oras na kinakailangan upang makamit ang wastong antas ng vacuum sa furnace. Ang isa pang alternatibo ayC/C compositemga materyales, na kilala sa kanilang magaan, mataas na pagpapahintulot sa pinsala, at lakas. Ang pagpapalit ng mga bahagi ng grapayt ngC/C compositesa thermal field ay makabuluhang binabawasan ang dalas ng pagpapalit ng bahagi ng grapayt, sa gayon ay nagpapabuti ng kalidad ng monocrystal at katatagan ng produksyon.