PECVD Solar Graphite Boat

SemicorexPECVD solar graphite boatsay precision-made mula sa mataas na kadalisayanisostatic graphite. Ang bawat PECVD solar graphite boat mula sa Semicorex ay sumasailalim sa tumpak na machining, dimensional na inspeksyon, at electrical performance testing upang matiyak ang matatag na performance sa mga high-temperature na plasma environment.

Sa pagpoproseso ng PECVD, ang PECVD solar graphite boat ay nagdadala ng mga silicon na wafer sa PECVD reaction chamber at nagsisilbing electrode na konektado sa RF power supply. Kapag ang isang alternating boltahe ay inilapat sa pagitan ng katabing bangka plates, isang electric field ay itinatag. Sa ilalim ng impluwensya ng electric field, ang mga reaktibong gas (tulad ng silane SiH₄ at ammonia NH₃) ay sumasailalim sa glow discharge at bumubuo ng plasma. Ang mga ions at free radical sa plasma ay nabubulok ang mga precursor na gas, na bumubuo ng mga ion ng silicon (Si) at nitrogen (N). Ang mga ion na ito ay nagsasama-sama upang bumuo ng mga molekula ng silicon nitride (Si₃N₄), na pagkatapos ay idedeposito sa ibabaw ng silicon wafer upang bumuo ng mga manipis na pelikula.

1. Pambihirang thermal stability

Sa isang thermal expansion coefficient na malapit sa mga silicon wafers, SemicorxPECVD solar graphite boatnakakaranas ng hindi gaanong pagbabago sa dimensyon sa pag-init, na mapagkakatiwalaang umiiwas sa pinsalang dulot ng thermal stress sa mga wafer.

2. Superior electrical at thermal conductivity

Ang mga Semicorex PECVD solar graphite boat ay may mahusay na electrical conductivity, na tinitiyak ang mabilis na pagpapadaloy ng RF current at pare-parehong electric field distribution, na kapaki-pakinabang para sa stable na pagbuo ng plasma at unipormeng silicon wafer deposition. Bukod pa rito, ang superyor na thermal conductivity nito ay nagpapadali sa mabilis na paglamig at pag-init, pagpapabuti ng kahusayan sa produksyon habang pinipigilan ang localized na overheating na makaapekto sa kalidad ng deposition.

3. Malakas na katatagan ng kemikal

Salamat sa paggamit ng premium-grade na materyal, ang Semicorex PECVD solar graphite boat ay hindi gaanong madaling kapitan ng reaksyon sa mga reaktibong gas at plasma. Ang katangiang ito ay makabuluhang pinipigilan ang hindi pantay na pamamahagi ng electric field na dulot ng kaagnasan, deformation, o impurity deposition sa graphite boat, kaya tinitiyak ang katatagan ng proseso ng deposition at ang kalidad ng ibabaw ng mga silicon wafers.

4. Natitirang mekanikal na lakas

Sa namumukod-tanging lakas ng makina nito, ang Semicorex PECVD solar graphite boat ay kayang hawakan ang bigat ng mataas na dami ng mga load ng wafer. Maaari nilang mapaglabanan ang mekanikal na stress na nabuo sa panahon ng paglo-load at transportasyon sa loob ng mahabang panahon nang hindi madaling ma-deform o masira.

5. Napakahusay na dimensional consistency

Ang Semicorex PECVD solar graphite boat ay nakakamit ng pambihirang dimensional na katumpakan sa lahat ng mga bahagi sa pamamagitan ng precision machining. Pinapanatili nito ang silicon wafer sa isang nakapirming posisyon sa panahon ng pag-deposito, na nagsisiguro ng pare-parehong pag-deposito at pagiging tugma sa automated na produksyon.