PFA Wafer Carriers

Semicorex PfaWafer Carriersay mga high-performance carriers na idinisenyo para sa ligtas na paghawak, imbakan, at transportasyon ng mga semiconductor wafers sa isang ultra-malinis na kapaligiran. Ang paggawa ng mga advanced na semiconductors ay nagsisiguro na ang mga PFA wafer carriers ay nag -aalok ng hindi magkatugma na paglaban ng kemikal, thermal stabil, at kontrol ng butil mula sa integridad at kalinisan ng mga wafer sa panahon ng katha hanggang sa panghuling pagsubok.

Ginawa mula sa mga bagong PFA, ang mga wafer carrier na ito ay nagpapakita ng mahusay na pagtutol sa malupit na mga kemikal tulad ng mga malakas na acid, base, at solvent na karaniwang ginagamit sa paglilinis at etching wafers. Ang napakababang ion ng pag -leaching at outgassing ng PFA ay ginagawang ginustong materyal para sa mga mahahalagang gawain sa paglilinis, kung saan ang mga maliliit na halaga ng mga kontaminado ay maaaring makaapekto sa mga ani ng aparato.

Ang mga PFA wafer carrier ay ginawa sa mga malinis na silid at nagtatrabaho sa Class 1 (ISO Class 3) Mga Pamantayan sa Malinis na silid. Ang makinis, hindi nakadikit na ibabaw ng PFA ay nagpapaliit ng henerasyon ng butil at pagdirikit, na pumipigil sa kontaminasyon mula sa mga nalalabi o mga particulate. Bilang karagdagan, ang kalikasan ng hydrophobic ng PFA ay nagpapadali ng masusing rinsing at mabilis na pagpapatayo, na higit na binabawasan ang panganib ng cross-kontaminasyon sa panahon ng mga hakbang sa pagproseso ng basa.

Ang bawat PFA wafer carrier ay tiyak na ginawa upang matiyak na ligtas at kahit na suporta ng mga wafer sa panahon ng paglipat at pagpapanatili. Ang mga grooved slot ay tumutulong sa mga wafer na may kaunting pakikipag -ugnay, pagbabawas ng stress at chipping sa mga gilid ng mga wafer. Ang mga carrier ay dumating sa maraming mga hugis upang magkasya sa iba't ibang laki ng mga wafer na kasama ang 100 mm, 150 mm, 200 mm, at 300 mm diameters. Ang mga opsyonal na tuktok at masikip na paraan ng pag -lock ay nagbibigay ng labis na kaligtasan laban sa pagkabigla sa mga paninda, panginginig ng boses, at pagkakalantad sa kapaligiran.

Dahil sa mahusay na paglaban ng thermal ng PFA hanggang sa 260 ° C, katugma ito sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng pagsasabog, oksihenasyon, at pag-aalis ng singaw ng kemikal na CVD. Ang carrier ay nagpapanatili ng integridad ng istruktura nito sa ilalim ng paulit -ulit na thermal cycling at samakatuwid ay angkop para sa parehong mga batch at awtomatikong pagproseso ng mga kapaligiran.

Ang mga carrier ng PFA wafer ay may malawak na aplikasyon sa paglilinis ng wafer, wet etching, photolithography CMP, at iba pang mga proseso sa harap at back-end sa katha ng IC. Ang kanilang matatag na disenyo at kadalisayan ay ginagawang perpekto para magamit sa mga tela, R&D lab, at mga kagamitan sa OEM na nangangailangan ng mahigpit na mga protocol ng control control.

Na -customizePFA Wafer CarriersMaaaring mabuo upang matugunan ang mga tiyak na mga kinakailangan sa automation, kabilang ang robotic paghawak, mga sistema ng track, at vertical/pahalang na transportasyon. Ang mga carrier ay ganap na katugma sa karaniwang kagamitan sa paghawak ng wafer at mga tool sa pagmamanupaktura ng semiconductor.