Ang mga semicorex na matibay na focus ring para sa pagproseso ng semiconductor ay idinisenyo upang mapaglabanan ang matinding kapaligiran ng mga plasma etch chamber na ginagamit sa pagproseso ng semiconductor. Ang aming mga focus ring ay gawa sa high-purity graphite na pinahiran ng siksik, wear-resistant na silicon carbide (SiC) coating. Ang SiC coating ay may mataas na corrosion at heat resistance properties, pati na rin ang mahusay na thermal conductivity. Inilapat namin ang SiC sa manipis na mga layer papunta sa graphite gamit ang proseso ng chemical vapor deposition (CVD) upang mapabuti ang buhay ng serbisyo ng aming mga focus ring.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry