Matibay na Focus Ring para sa Semiconductor Processing

Ang aming matibay na focus ring para sa pagproseso ng semiconductor ay idinisenyo upang mapabuti ang pagkakapareho ng etch sa paligid ng gilid o perimeter ng wafer, na pinapaliit ang kontaminasyon at hindi nakaiskedyul na pagpapanatili. Ang mga ito ay lubos na matatag para sa mabilis na thermal annealing (RTA), mabilis na pagpoproseso ng thermal (RTP), at malupit na paglilinis ng kemikal.

Sa Semicorex, tumutuon kami sa pagbibigay ng mataas na kalidad, cost-effective na durable focus rings para sa pagpoproseso ng semiconductor, inuuna namin ang kasiyahan ng customer at nagbibigay ng mga cost-effective na solusyon. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng mga de-kalidad na produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming matibay na focus ring para sa pagproseso ng semiconductor.

Mga Parameter ng Durable focus ring para sa pagproseso ng semiconductor

Mga tampok ng Durable focus ring para sa pagproseso ng semiconductor

● High-purity graphite at SiC coating para sa pinhole resistance at mas mahabang buhay.

● Parehong ang graphite substrate at SiC layer ay may mataas na thermal conductivity at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.

● Ang SiC coating ay inilalapat sa manipis na mga layer upang mapabuti ang buhay ng serbisyo.