Matibay na Focus Ring para sa Semiconductor Processing

Ang aming matibay na focus ring para sa pagproseso ng semiconductor ay idinisenyo upang mapabuti ang pagkakapareho ng etch sa paligid ng gilid ng wafer o perimeter, na pinapaliit ang kontaminasyon at hindi nakaiskedyul na pagpapanatili. Ang mga ito ay lubos na matatag para sa mabilis na thermal annealing (RTA), mabilis na pagpoproseso ng thermal (RTP), at malupit na paglilinis ng kemikal.

Sa Semicorex, nakatuon kami sa pagbibigay ng mataas na kalidad, matipid at matibay na focus ring para sa pagpoproseso ng semiconductor, inuuna namin ang kasiyahan ng customer at nagbibigay ng mga solusyon na matipid. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng mga de-kalidad na produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Makipag-ugnayan sa amin ngayon para matuto pa tungkol sa aming matibay na focus ring para sa pagproseso ng semiconductor.

Mga Parameter ng Durable focus ring para sa pagproseso ng semiconductor

Mga tampok ng Durable focus ring para sa pagproseso ng semiconductor

â High-purity graphite at SiC coating para sa pinhole resistance at mas mataas na buhay.

â Parehong ang graphite substrate at SiC layer ay may mataas na thermal conductivity at mahusay na mga katangian ng pamamahagi ng init.

â Ang SiC coating ay inilalapat sa mga manipis na layer upang mapabuti ang buhay ng serbisyo.