SiC Coated Wafer Heater

Ang Semicorex ay isang nangungunang independent na pagmamay-ari na tagagawa ng Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite na tumutuon sa Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, MOCVP na mga lugar ng paggawa ng semiconductor. Ang aming SiC Coated Wafer Heater ay may magandang bentahe sa presyo at sumasaklaw sa marami sa mga European at American market. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang Semicorex SiC Coated Wafer Heater ay maaaring gumana sa mataas na temperatura na furnace na may higit sa 3000 °C sa isang inert na kapaligiran, 2200 °C sa vacuum. Ang high-purity na SiC Coated Wafer Heater ay nagbibigay ng superior heat resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na chemical resistance. Ang pinong SiC crystal coating ay nagbibigay ng malinis, makinis na ibabaw, kritikal para sa paghawak dahil ang mga malinis na wafer ay nakikipag-ugnayan sa susceptor sa maraming punto sa kanilang buong lugar.
Sa Semicorex, tumutuon kami sa pagbibigay ng mataas na kalidad, cost-effective na SiC Coated Wafer Heater, inuuna namin ang kasiyahan ng customer at nagbibigay ng mga cost-effective na solusyon. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng mga de-kalidad na produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Mga Parameter ng SiC Coated Wafer Heater

Teknikal na Pagtutukoy	VET-M3
Bulk Density (g/cm3)	≥1.85
Nilalaman ng Abo (PPM)	≤500
Katigasan ng dalampasigan	≥45
Partikular na Paglaban (μ.Ω.m)	≤12
Flexural Strength (Mpa)	≥40
Lakas ng Compressive (Mpa)	≥70
Max. Laki ng Butil (μm)	≤43
Coefficient ng Thermal Expansion Mm/°C	≤4.4*10-6

Mga Tampok ng SiC Coated Wafer Heater

- Mataas na kadalisayan na SiC coated graphite
- Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal
- Pinong SiC na kristal na pinahiran para sa makinis na ibabaw
- Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal
- Ang materyal ay idinisenyo upang hindi magkaroon ng mga bitak at delamination.