Ceramic End Effector

Ang Ceramic End Effector ay ang kamay ng robot na nagpapagalaw ng mga semiconductor na wafer sa pagitan ng mga posisyon sa kagamitan at mga carrier ng wafer processing. Ang end effector ay dapat na dimensionally precise at thermally stable, habang may makinis, abrasion-resistant na ibabaw upang ligtas na mahawakan ang mga wafer nang hindi nakakasira ng mga device o gumagawa ng particulate contamination. Ang aming high-purity na silicon carbide na Ceramic End Effector ay nagbibigay ng superior heat resistance, kahit na thermal uniformity para sa pare-parehong kapal at resistensya ng epi layer, at matibay na chemical resistance.

Sa Semicorex, nakatuon kami sa pagbibigay ng de-kalidad, matipid na Ceramic End Effector, inuuna namin ang kasiyahan ng customer at nagbibigay ng mga solusyon na matipid. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo, na naghahatid ng mga de-kalidad na produkto at pambihirang serbisyo sa customer.

Mga Parameter ng Ceramic End Effector

Mga tampok ng mataas na kadalisayan ng Ceramic End Effector

â High purity SiC coated graphite

â Superior na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal

â Pinong SiC na kristal na pinahiran para sa makinis na ibabaw

â Mataas na tibay laban sa paglilinis ng kemikal

â Ang materyal ay idinisenyo upang hindi magkaroon ng mga bitak at delamination.