Quartz Crucible para sa Silicon Single Crystal Pulling

Para sa silikon na solong kristal na paghila ng direktang mga contact na may silikon na likido, kaya ang mga impurities at bula na hindi mahusay na kinokontrol sa proseso ng paggawa, malinaw na nakakaapekto ito sa paghila ng mga resulta ng kristal, kahit na humantong sa pagkabigo sa kristal na paghila at materyal na pagkasira/basura. Dahil ang single-crystal silikon na mga wafer ay nangangailangan ng mataas na kadalisayan at ang gastos ng isang solong proseso ng paghila ng kristal ay mataas, may mataas na hinihingi sa quartz na crucible para sa silikon na solong kristal na paghila sa mga tuntunin ng kadalisayan, pagganap ng bubble, at katatagan ng kalidad.

Sa proseso ng paglago ng single-crystal ng Czochralski, ang quartz na crucible para sa silikon na solong kristal na paghila ay kailangang makatiis ng mga temperatura na mas mataas kaysa sa natutunaw na punto ng silikon (1420 ℃). Ang quartz crucible ay kadalasang translucent at binubuo ng maraming mga layer.

Ang panlabas na layer ay isang rehiyon na may mataas na density ng bubble, na tinatawag na bubble composite layer; Ang panloob na layer ay isang 3-5mm transparent layer, na tinatawag na bubble depletion layer. Ang pagkakaroon ng layer ng pag-ubos ng bubble ay binabawasan ang density ng lugar ng contact na may crucible-solution, sa gayon pinapabuti ang paglago ng single-crystal.

Dahil ang panloob na layer ng Quartz na crucible ay direktang nakikipag -ugnay sa likidong silikon, ito ay patuloy na matunaw sa silikon, at ang micro bubble sa crucible transparent layer ay lalago upang mag -crack at pakawalan ang mga partikulo ng quartz at micro bubbles. Ang mga impurities pagkatapos ay dumadaloy sa buong matunaw na silikon, direktang nakakaapekto sa pagkikristal at kalidad ng solong kristal na silikon.

Quartz cruciblePara sa silikon na solong kristal na paghila ng direktang mga contact na may silikon na likido, kaya ang mga impurities at bula na hindi mahusay na kinokontrol sa proseso ng paggawa, malinaw na nakakaapekto ito sa paghila ng mga resulta ng kristal, kahit na humantong sa pagkabigo sa kristal na paghila at materyal na pagkasira/basura. Dahil ang single-crystal silikon na mga wafer ay nangangailangan ng mataas na kadalisayan at ang gastos ng isang solong proseso ng paghila ng kristal ay mataas, may mataas na hinihingi sa quartz na crucible para sa silikon na solong kristal na paghila sa mga tuntunin ng kadalisayan, pagganap ng bubble, at katatagan ng kalidad.

Mga impurities: Ang mga impurities ay direktang nakakaapekto sa pagganap at ani ng mga solong kristal. Samakatuwid, ang nilalaman ng karumihan ngQuartzPara sa silikon na solong kristal na paghila ng direktang mga contact na may silikon na likido, kaya ang mga impurities at bula na hindi mahusay na kinokontrol sa proseso ng paggawa, malinaw na nakakaapekto ito sa paghila ng mga resulta ng kristal, kahit na humantong sa pagkabigo sa kristal na paghila at materyal na pagkasira/basura. Dahil ang single-crystal silikon na mga wafer ay nangangailangan ng mataas na kadalisayan at ang gastos ng isang solong proseso ng paghila ng kristal ay mataas, may mataas na hinihingi sa quartz na crucible para sa silikon na solong kristal na paghila sa mga tuntunin ng kadalisayan, pagganap ng bubble, at katatagan ng kalidad.

Mga Bubble: Ang Mataas na Purity Quartz Sand mismo ay naglalaman ng mga inclusions ng gas-likido. Sa panahon ng proseso ng paghila ng kristal, ang panloob na ibabaw ng crucible na nakikipag -ugnay sa silikon ay natutunaw na patuloy na natutunaw sa natutunaw na silikon.  Ang mga micro bula sa transparent na layer ay patuloy na lumalaki, at ang mga bula na pinakamalapit sa panloob na pagkalagot sa ibabaw, naglalabas ng quartz micro particle at micro bubbles sa silikon na natutunaw. Ang mga impurities sa loob ng mga micro particle na ito at mga micro bula ay dinala sa buong buong silikon na natutunaw, na direktang nakakaapekto sa pagkikristal ng silikon (rate ng ani, rate ng pagkikristal, oras ng pag-init, direktang mga gastos sa pagproseso, atbp.) At ang kalidad ng solong-crystal silikon (perforated wafers, black chips, atbp.).